Others O2 Plasma 에칭 실험이요
2019.01.30 14:20
안녕하세요. 회사에 다니고 있는 직장인입니다.
이번에 저희 회사 연구실에서 O2 Plasma를 이용하여 Carbon Film을 날리는 실험을 계획중에 있습니다.
그런데 Carbon Film이 Depo된 Wafer를 구하기가 쉽지가 않습니다..
혹시 Carbon 시편을 구할 수 있는 곳이라던가 연락처아시면
공유가 가능할까 싶어 너무나 간절한 마음에 여기에 이렇게 질문글을 작성합니다..
도움 부탁드리겠습니다..
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77200 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20462 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57359 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68898 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92944 |
626 | OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] | 799 |
625 | Collisional mean free path 문의... [1] | 805 |
624 | 플라즈마 충격파 질문 [1] | 810 |
623 | Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] | 816 |
622 | 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [1] | 818 |
621 | DBD Plasma Actuator 원리에 대한 질문입니다. [1] | 821 |
620 | 라디컬의 재결합 방지 [1] | 822 |
619 | ECR ion source에서 plasma가 켜지면 RF reflect가 심해집니다. [2] | 828 |
618 | RF Frequency 가변과 FORWARD POWER의 상관관계 [2] | 831 |
617 | 플라즈마 장치 관련 기초적 질문입니다. [1] | 832 |
616 | RF 파워서플라이 매칭 문제 | 843 |
615 | 플라즈마용사코팅에서의 carrier gas [1] | 845 |
614 | center to edge 문제를 극복하기 위한 방법 [1] | 847 |
613 | PPV(플라즈마 용융 유리화)에 관해 질문드립니다. [1] | 849 |
612 | ICP Dry Etch 진행시 정전기 발생에 관한 질문입니다. [1] | 855 |
611 | RIE 공정시에 형성되는 두 효과를 분리해 보고 싶습니다. [1] | 858 |
610 | 매쳐 출력값 검토 부탁 드립니다. [1] | 861 |
609 | RF MATCHING 관련 교재 추천 부탁드립니다 [1] | 863 |
608 | 연면거리에 대해 궁금합니다. [1] | 866 |
607 | Self bias 내용 질문입니다. [1] | 879 |