ESC 전극에 따른 힘의 크기 질문드립니다.
2020.08.12 09:14
안녕하십니까 김곤호 교수님
ESC를 공부하다가 어려운 내용이 있어서 이렇게 글을 올려봅니다.
전극 형태만 다르고 모두 같은 조건의 ESC중에 (interdigital 형식 전극과 Capacitor 형식의 전극이 큰 전극)
Chucking Force가 어떤 것이 높은지 궁굼합니다.
또 이 두가지의 장단점을 조금만 설명해 주시면 큰 도움이 될 것 같습니다.
대략적인 사진 첨부 드립니다. 컨펌 부탁드리겠습니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [293] | 77379 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20518 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57452 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68984 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 93008 |
813 |
Debey Length에 대해 문의 드립니다.
![]() | 0 |
812 | 플라즈마 장비 내부 온도 측정법 [1] | 39 |
811 | 플라즈마 식각 공정 중 폴리머의 거동 | 43 |
810 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 45 |
809 | Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다. [1] | 46 |
808 | micro arc에 대해 질문드립니다. [1] | 48 |
807 | Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다 [1] | 58 |
806 | Druyvesteyn Distribution | 60 |
805 | 플라즈마 사이즈 측정 방법 [1] | 60 |
804 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 66 |
803 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 70 |
802 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 76 |
801 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 83 |
800 | CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다. [1] | 85 |
799 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 93 |
798 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 94 |
797 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 95 |
796 | CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다. [1] | 95 |
795 | PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. | 97 |
794 | Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다. [1] | 97 |