Others 플라즈마를 통한 정전기 제거관련.
2021.07.09 14:56
안녕하세요. 반도체 관련 엔지니어로 근무하고 있는 직장인입니다.
현재 공정이 완료된 텅스텐 재료에 대기압 플라즈마를 가하여 정전기 제거를 하고있습니다.
Ar gas를 이용하였으며 정전기 측정장비로 제거 되는 것 까지는 확인 되었습니다.
추가로 여쭤보고 싶은 부분이 정전기 제거 후에도 반영구적으로 정전기가 발생하지 않는 것도 확인이 되는데요.
이 부분에 대해서는 관련 자료를 찾아보아도 나오는 부분이 거의 없어서요.
O, N 라디칼들이 계면에서 어떠한 에너지 반응을 일으키는 건지. 텅스텐 표면에 어떤 결합에너지에 영향을 주는 것인지 궁금하네요.
플라즈마를 통하여 정전기 방지가 유지되는 것이 어떠한 Process로 진행될 수 있는지 궁금합니다.
고견 여쭙겠습니다. 감사합니다.
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77195 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20458 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57359 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68897 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92942 |
165 | RF를 이용하여 Crystal 세정장치 [1] | 18883 |
164 | 플라즈마에 관하여... | 18967 |
163 | AMS진단에 대하여 궁금합니다 | 19056 |
162 | 기중방전에서 궁금한것이 | 19169 |
161 | 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요?? | 19175 |
160 | 질문이 몇가지 있읍니다. [1] | 19200 |
159 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19232 |
158 | MFC | 19339 |
157 | [Q]플라즈마 생성위한 자유전자라는게 뭐죠? | 19342 |
156 | CCP/ICP에서 자석의 역활에 대하여 | 19362 |
155 | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19366 |
154 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19407 |
153 | QMA에 관하여 [1] | 19440 |
152 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19448 |
151 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19464 |
150 | 플라즈마를 이용한 박막처리 | 19507 |
149 | self bias [1] | 19509 |
148 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19583 |
147 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19650 |
146 | smsith chart 공식 유도하는 방법? | 19672 |