CCP anode sheath 질문드립니다.

2021.07.15 08:42

해운대온천 조회 수:1007

안녕하십니까. 플라즈마 관련 회사를 다니는 사람입니다.

 

쉬스에 관해서 조금 공부를 하고 있습니다..

 

1. ccp방식에서 전극을 캐소드, 애노드 라고 표현하는 이유를 알고 싶습니다. 배터리와 같은 관점으로 전류가 나오는 곳을 캐소드라고 하는건가요?

 

2. 캐소드 쉬스가 애노드 쉬스 보다 두꺼운 이유는 무엇인가요?(단순히 A/C ratio때문인지...?), 두 전극의 면적차이가 같을 경우에도... 쉬스의 두께 차이가 존재하나요?

 

인터넷으로 블로그에 나와있는 글을 봤는데 거기서는, "양이온은 애노드로 접근하기 힘들겠지만, 전자들은 이보다 훨씬 빠르게 애노드로 들어갈수 있기 때문에, 그만큼 애노드에서는 중화되버리고, 전위의 차이가 매꿔지게 된다. 즉 , 쉬스 포텐셜의 차이가 줄어들게 되고, 얇은 쉬스가 될수 밖에 없다" 라고 되어있더라구요... 오히려 더 헷갈리는거 같습니다..

 

(쉬스라는것은 전자와 이온의 속도차이에 의해서, 전극 표면에 쌓인 음전하들로 대전되어, 전위가 플라즈마 보다 낮고, 전자는 들어가기 힘들고, 양이온은 많이 들어가는... 그러한 공간을 말하는것 아닌가요?)

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76897
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20287
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57206
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68760
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92719
799 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 16
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 16
797 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 17
796 Druyvesteyn Distribution 24
795 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 31
794 플라즈마 식각 커스핑 식각량 36
793 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 62
792 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 65
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 71
790 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 74
789 플라즈마 설비에 대한 질문 76
788 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 78
787 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 82
786 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 84
785 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 90
784 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 95
783 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 98
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 121
781 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] 124
780 Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] 125

Boards


XE Login