CCP RF 전류가 흐르는 Shower head를 TC로 온도 측정 할 때
2021.08.10 15:58
안녕하세요 교수님 유용한 답변 항상 잘 활용하고 있습니다.
제가 부족한 점이 많아 자꾸만 여기에 여쭙게 되네요.
저는 CCP Plasma를 base로 하는 장비를 주력으로 다루고 있습니다.
저희는 RF를 Showerhead에 걸어주는데요.
이번에 TC를 통해서 Plasma가 켜졌을 때 Showerhead의 온도 동향을 파악하는 평가를 하려고 합니다.
그래서 Showerhead에 TC를 달아서 온도를 측정하려고 합니다.
그런데, 제가 알기로는 TC는 온도에 따라 다르게 형성되는 전압을 측정해 온도를 측정하는 것으로 알고있습니다.
그래서 Showerhead에 강한 Power(2000~3000W)를 걸어주었을 때 TC에 어떤 문제가 생기지는 않을까 걱정이 됩니다.
교수님은 어떻게 생각하시는지요?
혹은 추천해주실만한 다른 측정법이 있으신지 궁금합니다.
항상 감사합니다!
댓글 1
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76901 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20295 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57211 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68763 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92720 |
799 | C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 | 17 |
798 | 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] | 17 |
797 | 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] | 19 |
796 | Druyvesteyn Distribution | 24 |
795 | DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] | 32 |
794 | 플라즈마 식각 커스핑 식각량 | 36 |
793 | 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] | 65 |
792 | Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. | 66 |
791 | Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] | 72 |
790 | 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] | 74 |
789 | 플라즈마 설비에 대한 질문 | 77 |
788 | Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] | 81 |
787 | 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 | 83 |
786 | 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] | 85 |
785 | 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] | 90 |
784 | RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] | 95 |
783 | RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] | 100 |
782 | RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] | 122 |
781 | 반사파에 의한 micro arc 질문 [2] | 124 |
780 | Impedance I 값을 결정 짓는 요소 관련 질문 [1] | 126 |