1. etch 공정이 완료된 이후 가장자리에 다량의 defect가 발견되었는데 이때 원인을 분석하기 위한 방법이 무엇이 있을까요?

 

2. 또 1번의 defect를 줄이기 위한 방법이 무엇이 있을까요?

 

저 나름대로 공부를 해봤는데 다른분들 의견이 궁금해서 질문드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [314] 80563
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21558
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58361
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69966
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95166
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 927
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1159
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 764
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 731
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2176
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 591
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 628
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 757
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 714
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1381
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1472
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1206
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 861
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1164
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 621
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1595
668 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1570
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 534
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 880
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1017

Boards


XE Login