Others 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment]

2022.08.08 11:39

민정 조회 수:1576

고등학교 재학 중인 김민정입니다.
다름이 아니라 실험 계획서를 작성해야 하는데 플라스마와 반도체 식각과 관련해서 진행할 수 있는 실험 있을까 해서 질문드립니다.

감사합니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 81042
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21652
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58451
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70069
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95424
684 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [수소, Ar 단원자 진단] [1] 932
683 sticking coefficient 관련 질문입니다. [HAR, LF bias] [1] 1170
682 RF Sputtering Target Issue [Sputtering] [2] file 770
681 OES 파장 관련하여 질문 드립니다. [데이터+플라즈마광학 모델] [1] 735
680 PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다! [PECVD와 PACVD] [1] 2187
679 plasma striation 관련 문의 [Plasma striation] [1] file 605
678 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 633
677 주파수 변화와 Plasma 온도 연관성 [Plasma heating] [1] 762
676 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time [TVP(Thorottle Valve Position)] [1] file 723
675 RPSC 시 Pressure와 Throttle Valve Position의 관계 [Plasma cleaning] [1] file 1387
674 Plasma Ignition 시 Gas 사용에 대한 궁금증 요청드립니다. [Pachen's law와 Ar Gas] [1] 1477
673 Plasma Arching [Plasma property] [1] 1212
672 Polymer Temp Etch [이온 입사 에너지] [1] 871
671 CCP Plasma 해석 관련 문의 [Diffusion] [1] file 1167
670 AlCu Dry Etch시 Dust 잔존문제 623
669 플라즈마 관련 교육 [플라즈마 교육자료] [1] 1599
» 반도체 관련 플라즈마 실험 [Plasma experiment] [1] 1576
667 스퍼터링 Dep. 두께 감소 관련 문의사항 [플라즈마 이온주입 연구실] [1] 535
666 방전수 활성종 중 과산화수소 측정에 관련하여 질문드립니다. [플라즈마 응용기술] [1] 889
665 Dry Chamber VPP 변동 관련 질문입니다. [VI Phase] [1] 1027
쓰기
태그

Boards

XE Login