Others 플라즈마 주파수 예측관련 질문드립니다
2022.11.23 13:36
안녕하세요
현재 반도체관련 회사에 인턴중입니다.
다름아니라 스퍼터 내부 플라즈마 주파수를 이론상 예측하려고하는데요,
electron density 혹은 power나 voltage로 계산할 수 있는 수식이 있나 여쭤봅니다.
책가방정도의 크기의 챔버에 100W정도 흘릴 예정입니다.
혹시 비슷한 상황에서 플라즈마 주파수를 측정해본 적 있으시다면 조언 부탁드립니다
감사합니다!
댓글 1
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77195 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20458 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57359 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68897 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92942 |
| 585 | Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] | 1018 |
| 584 | 고진공 만드는방법. [1] | 1020 |
| 583 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1025 |
| 582 | anode sheath 질문드립니다. [1] | 1027 |
| 581 | 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] | 1027 |
| 580 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1]  | 1029 |
| 579 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1039 |
| 578 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] | 1040 |
| 577 | 플라즈마 코팅 [1] | 1046 |
| 576 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1049 |
| 575 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1056 |
| 574 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1058 |
| 573 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1068 |
| 572 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1074 |
| 571 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1079 |
| 570 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1] | 1080 |
| 569 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1087 |
| 568 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1092 |
| 567 | Plasma Arching [1] | 1093 |
| 566 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1098 |