안녕하세요 대학원생 석사 과정을 밟고 있는 위창현입니다.

질문드리고 싶은 내용은 다름이 아니라 corona phase와 같은 특수한 경우 ionization ratio인 ion number density와 neutral particle number density의 비가 electron impact ionization rate coefficient와 radiative recombination rate coefficient의 비로 표현할 수 있게 되고, 전자의 밀도와 연관이 없는 것으로 식이 나타내지게 되는데, 플라즈마에서는 플라즈마의 전하가 quasi neutral을 띠기 때문에 전자의 수와 이온의 수가 같은 것을 알 수 있습니다.

질문은 quasi neutral상태의 ionization ratio에서 ion number density대신 electron number density를 쓰면 안되는 이유는 뭔가요?

 

number density의 개념이기 때문에, 전자의 온도가 이온의 온도보다 매우 높은 비평형 플라즈마에서는 electron number density가 ion number density보다 높기 때문에 ionization ratio에서 ion number density를 사용하는 것인가요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77065
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20383
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57292
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68838
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92841
801 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 25
800 Druyvesteyn Distribution 27
799 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 37
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 42
797 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 43
796 플라즈마 식각 커스핑 식각량 45
795 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 45
794 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 53
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 68
792 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 77
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 77
790 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 86
789 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 87
788 플라즈마 설비에 대한 질문 90
787 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 97
786 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 98
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 105
784 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 107
783 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 111
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128

Boards


XE Login