공지 |
[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
[283]
| 77266 |
공지 |
Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
| 20479 |
공지 |
개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
| 57385 |
공지 |
kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
| 68916 |
공지 |
질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
[3]
| 92965 |
467 |
터보펌프 에러관련
[1] | 1783 |
466 |
CVD품질과 RF Delivery power 관계 질문
[1] | 1787 |
465 |
ICP와 CCP에서의 Breakendown voltage
[1] | 1800 |
464 |
Edge ring과 플라즈마 밀도 균일성
[1] | 1824 |
463 |
N2 Blowing Ionizer 사용 시 궁금점 질문 드립니다.
[1] | 1840 |
462 |
wafer 두께가 증가함에 따라 Er이 급격하게 떨어지는 현상
[1] | 1842 |
461 |
공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 답변 정말 감사합니다!
| 1877 |
460 |
ICP 내부 기체 비율에 따른 spectrum intensity 변화
[1] | 1880 |
459 |
가입인사드립니다.
[1] | 1881 |
458 |
CVD CCP/ICP 사용간 Wafet Bias volt 줄어듬 현상 문의드려요
[1] | 1883 |
457 |
유도결합 플라즈마 소스 질문!!!?
[2] | 1916 |
456 |
RF FREUENCY 와 D/R 과의 상관 관계에 관한 질문입니다.
[1] | 1920 |
455 |
3 stub 정합에 대해 궁금합니다.
[1] | 1927 |
454 |
RF PLASMA를 사용한 J.R ESC DECHUCK에 대하여 문의드립니다.
[1] | 1931 |
453 |
매칭시 Shunt와 Series 값
[1] | 1938 |
452 |
플라즈마 입자 운동 원리(전자기장에서)
[1] | 1943 |
451 |
쉬스(sheath)에서 전자와 이온의 감소 관련하여 질문
[1] | 1961 |
450 |
PECVD 증착시 온도, 기판의 종류의 영향에 대해서 질문드립니다!
[1] | 1968 |
449 |
13.56MHz resonator 해석 관련 문의
[1] | 1969 |
448 |
RF generator 관련 문의드립니다
[3] | 1981 |