번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] 76888
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20285
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57204
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68758
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92714
499 임피던스 매칭회로 [1] file 2827
498 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
497 CCP기반 power와 Etch rate 관계에 대해 여쭈어드립니다. [3] 1712
496 glow 방전 현상과 플라즈마 현상에 궁금하여 글 남깁니다. [2] 1525
495 plasma sheath 두께의 영향에 대하여 질문드립니다. [2] 3434
494 대학원 진학 질문 있습니다. [2] 1173
493 질문있습니다. [1] 2585
492 chamber impedance [1] 2017
491 PECVD Precursor 별 Arcing 원인 [1] 3343
490 플라즈마 관련 기초지식 [1] 2151
489 매쳐에서의 load, tune에 대하여 좀 가르쳐 주세요~ [1] 5106
488 [질문] Plasma 장비에 대한 Monitoring 질문 [2] 1379
487 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 749
486 Matcher의 Load, Tune 영향을 미치는 요소가 궁금합니다. [2] 6295
485 EEDF, IEDF, Cross section관련 질문 [1] 1676
484 ICP, CCP 그리고 Ion Implantation 공정 관련 질문 드립니다. [1] 1194
483 matcher, ESC, Heater에 대해 질문 드립니다. [3] 3211
482 HF/F2와 silica 글래스 에칭율 자료가 있을까요? 2889
481 교수님 질문이 있습니다. [1] 762
480 wafer bias [1] 1139
쓰기
태그

Boards

XE Login