Domestic Analysis of Repetitive Pulse Discharge System for Plasma Source Ion Implantation
2008.06.26 16:19
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PAL SNU||2006||-||IEEEPMC||-||-||K. J. Chung1, J. M. Choe1, H. D. Hwang2, G. H. Kim1, K. C. Ko2, and Y. S. Hwang1||Korea||t
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