Others IEDF EQP에 대한 답변
2004.06.19 16:02
첨부된 파일을 참조하시기 바랍니다.
MS word 파일입니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [282] | 77196 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20460 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57359 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68897 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92943 |
| 246 | 안녕하세요 텅스텐 에치에 대해 질문드리겠습니다. | 1147 |
| 245 | 엘립소미터 측정관련해서 질문이 있습니다. [1] | 1139 |
| 244 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1120 |
| 243 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1113 |
| 242 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1105 |
| 241 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1098 |
| 240 | Plasma Arching [1] | 1093 |
| 239 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1092 |
| 238 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1087 |
| 237 |
고전압 방전 전기장 내 측정
[1]  | 1080 |
| 236 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1079 |
| 235 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1074 |
| 234 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1068 |
| 233 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1058 |
| 232 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1056 |
| 231 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1049 |
| 230 | 플라즈마 코팅 [1] | 1046 |
| 229 |
CCP Plasma 해석 관련 문의
[1] | 1040 |
| 228 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1039 |
| 227 |
langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다.
[1] | 1029 |