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[필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내
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Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법
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개인정보 노출 주의 부탁드립니다.
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kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수
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질문하실 때 실명을 사용하여주세요.
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810 |
Forward와 Reflect가 계속해서 걸립니다.
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809 |
micro arc에 대해 질문드립니다.
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808 |
플라즈마 장비 내부 온도 측정법
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807 |
Wafer Capacitance 성분과 Vdc 관계 문의드립니다.
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806 |
Surface wave plasma 조건에 관해 질문드립니다.
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805 |
CCP Chamber 사용 중 Impedance 변화 원인 문의드립니다.
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804 |
CVD 박막 Clean 중 Ar에 의한 Etch 여부가 궁금합니다.
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803 |
Ion 입사각을 확인하는 방법 문의드립니다
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802 |
ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다.
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HE LEAK 과 접촉저항사이 관계
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800 |
PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다.
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스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다!
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공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다.
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797 |
Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다.
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Druyvesteyn Distribution
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플라즈마 식각 커스핑 식각량
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794 |
Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성
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C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책
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DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다.
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새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다.
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