DC glow discharge DC glow discharge

2004.06.19 16:38

관리자 조회 수:23409 추천:269

DC glow는 음극과(negative electrode) 양극(positive electrode)의 전극에 DC 전압을 인가하여 형성된 전기장에서 가속된 전자들이 공간내 기체 분자나 원자들을 이온화 하여 플라즈마가 형성되게 됩니다. 공간 내에 플라즈마가 형성되면 전자들은 쉽게 양 전극(positive electrode)으로 흘러들어 가게 되고 이온은 질량이 상대적으로 무거워서 음 전극으로 쉽게 흘러들어 가게 되지 않습니다. 따라서 음극과 양 전극 근방에서 일어나는 상황이 서로 대칭적이지 않습니다. 결국 음극 근방에서 형성된 전위 차가 커서 큰 전기장이 형성되고 이 결과로 이온이 가속되게 되는데 이때 음극에 형성괸 전위분포를 음극 전압강하라 합니다. 이 현상은 음극에 형성된 sheath현상으로 이해 할 수 있으며 이 곳은 플라즈마 반응기 내에서 가장 전기장의 세기가 강한 곳으로 전기장의 방향은 음극판을 향합니다. 이 전기장으로부터 가속된 높은 에너지를 가진 이온이 음극 판에 입사하고 음극 표면과 충돌해서 방출되는 전자, 즉 이차전자들은 이 전기장으로부터 가속되면서 반응기 중심부로 날아가게 되고 이들은 다시 공간 내 이온화 반응에 기여함으로써 플라즈마를 유지하는데 매우 중요한 역할을 하게 됩니다. 따라서 음극에서의 전압강하는 플라즈마 유지에 매우 중요한 역할을 합니다. 이에 반해 양극쪽에서는 미약한 전압강하 부분이 있기는 합니다만 위에서 설명한 바와 같이 이 크기는 크지 않기 때문에 중요하게 다루지 않습니다. DC 방전에서 음극 전압강하, 음극 전압강하영역의 거리, 음극의 재질이 매우 중요한 인자임을 알수 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102103
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24548
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73271
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105485
153 이온주입량에 대한 문의 20889
152 Peak RF Voltage의 의미 22836
151 electrode gap 18131
150 RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] 97597
149 실생활에서 사용되는 플라즈마 18428
148 플라즈마의 어원 [Langmuir] 16452
147 확산펌프 [DP 변수 검토] 20654
146 플라즈마에 관하여 [플라즈마 기초] 19047
145 핵융합 발전에서 폐기물이 않나오는…. [처리와 재활용] 18661
144 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] 18635
143 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 22000
142 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 80361
141 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] 17188
140 CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅] 16636
139 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 30088
138 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22212
137 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20594
136 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24654
135 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22128
134 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19798

Boards


XE Login