Others 플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마
2004.06.19 16:44
플라즈마 절단기에서 발생 플라즈마에 의해 발생하는 잡음 발생이 심각하다고 하셨습니다. 이를 제거하기 위해 전원부를 따로 쓰고 있고 차폐막도 설치했음에도 심호잡음이 계속 측정되고 있다고 하셨습니다.
일단 아크 플라즈마에서는 순간적인 아크 전류의 크기가 커서 발생 잡음은 매우 크고 이의 제거는 매우 어렵습니다. 일단 발생하는 잡음 신호의 주파수와 크기를 측정하실 필요가 있습니다. 이를 참고로 가장 염두에 두셔야 할 것은 차폐막과 전원부의 접지상태를 확인하시기 바랍니다. 잡음은 직류가 아진 고주파 교류신호임을 유의하여 접지 상태를 점검하고 차폐막의 형태나 설치 위치도 중요하니 설치 위치등을 다시 고려하시기 바랍니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77076 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20391 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57300 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68845 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92852 |
581 | RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] | 1022 |
580 | langmuir probe관련하여 질문드리고 싶습니다. [1] | 1025 |
579 | CCP Plasma 해석 관련 문의 [1] | 1030 |
578 | Plasma 에서 Coupled (결합) 의 의미 [1] | 1035 |
577 | DC Magnetron Sputter 플라즈마 진단 [1] | 1037 |
576 | 플라즈마 코팅 [1] | 1042 |
575 | 진학으로 고민이 있습니다. [2] | 1044 |
574 | DC Plasma 전자 방출 메커니즘 | 1050 |
573 | 리모트 플라스마 소스 AK 부품 수출 관련 질문 입니다 반도체 장비 부풉ㅁ | 1051 |
572 | Decoupled Plasma 관련 질문입니다. [1] | 1065 |
571 | RIE 장비 사용 중 dc-bias의 감소 [1] | 1073 |
570 | 고전압 방전 전기장 내 측정 [1] | 1074 |
569 | Si 표면에 Ar Plasma Etching하면 안되는 이유 [1] | 1074 |
568 | HEATER 교체 이후 SELF BIAS 상승관련 문의 [1] | 1082 |
567 | Plasma Arching [1] | 1086 |
566 | Plasma Etching 교재 추천 부탁드립니다.. [3] | 1088 |
565 | Dechucking과 He gas의 관계 질문입니다. [1] | 1100 |
564 | 공정 진행 중간에 60Mhz만 Ref가 튀는 현상 관련하여 어떤 이유들이 있을까요..? [2] | 1106 |
563 | etch defect 관련 질문드립니다 [1] | 1106 |
562 | 전자밀도 크기에 대하여 질문드립니다. (Ar, O2, N2 가스) [1] | 1124 |