ATM Plasma 유전체 플라즈마

2004.06.19 16:54

관리자 조회 수:17564 추천:292

유전체 플라즈마에 관심이 많으시군요. 저희 실험실도 DBD 실험을 하고 있으며 자동차에도 적용할 수 있을 것으로 기대합니다.

질문에서 일반적인 DBD 반응기의 경우 구조가 전극+유전체+공기+유전체+전극의 구조로 되어 있고 그 이유에 대한 궁금증인것 같습니다. 전극 앞의 유전체가 하는 일은 발생한 플라즈마로부터 전극으로 직접 빠져 나가는 전하를 가두고 또한 이차전자를 방출하는 역할을 합니다. 만일 전극 사이에서 플라즈마가 발생되면 전극 사이에 있는 공기는 더 이상 절연성이 높은 유전체가 아닙니다. 오히려 전기 전도도가 좋은 물질, 즉 플라즈마와 공기 개스가 혼재된 상태의 유전 물질로 변하게 됩니다. 따라서 그 특성은 전극 표면의 유전체와는 본질적으로 다른 것입니다. 아울러 전극 간에서 일어나는 break down에 대하여 궁금해 하였는데 저희 강의록을 찾아 보면 Paschen curve에 대한 내용이 있습니다. DC 방전이 일어날 수 있는 조건을 개념적으로 설명해 놓았으니 참고하시기 바랍니다. 다라서 DBD에서 일어나는 방전은 corona 방전과는 달리 넓은 면적에서 방전이 일어나는 특징을 갖아 면방전이라 부르기도 하는 glow 방전의 일종이 됩니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [276] 76875
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20274
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68751
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92698
217 PSM을 이용한 Radical측정 방법 file 17081
216 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 17087
215 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17197
214 Electrode 의 역할에 대해서 궁금합니다. 17348
213 고온플라즈마와 저온플라즈마 17449
212 RF 변화에 영향이 있는건가요? 17512
211 안녕하세요 반도체 공정 중 용어의 개념이 헷갈립니다. [1] 17544
» 유전체 플라즈마 17564
209 불꽃이 쫒아오는 이유 17621
208 플라즈마와 자기장의 상호작용 17628
207 Plasma Dechuck Process가 궁금합니다. 17688
206 충돌 17708
205 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17731
204 플라즈마에서 전자가 에너지를 어느 부분에서.. 17764
203 교육 기관 문의 17783
202 스퍼터링 후 시편표면에 전류가 흘렀던 흔적 17791
201 플라즈마 온도중 Tr의 의미 17812
200 capacitively/inductively coupled plasma 17815
199 QMA에서 electron beam의 generation 과정 [1] 17852
198 플라즈마 응용분야 17866

Boards


XE Login