Others 플라즈마의 상태

2004.06.19 16:56

관리자 조회 수:14198 추천:270

플라즈마는 전기적으로 준 준성상태를 유지하고 있습니다. 이는 전자들과 이온들의 양이 거의 같은 수로 존재함을 의미합니다. 하지만 질문에서 처럽 negative ion 즉 중성 입자에 전자의 attechement process에 의해서 음 전하를 갖느 이온들이 있는 경우 플라즈마는 양이온, 음이온, 전자들로 구성되게 됩니다. (음이온의 양은 중성입자에 전자의 흡착으로 만들어 짐으로 음이온 발생량만큼 전자의 수는 줄게 됩니다.) 이때양이온과 음이온은 질량 크기는 같으나 하전극성이 반대가 되며 음이온과 전자들은 하전 극성은 같으나 그 질량의 크기는 다르게 됩니다. 이 경우도 플라즈마 내에느 준 중성 상태가 그대로 유지됨으로 양이온 밀도= 음이온 밀도+ 전자 밀도의 조건이 성립하게 되며 책에서는 이경우를 언급하고 있는 것 입니다. 음이온이 발생하는 경우는 주기률 표의 7족 물질들의 전자 친화력이 켜서 쉽게 전자들과 결합을 잘하게 되어 음이온의 발생이 큽니다. 이들 7족 물질(F, cl2 etc)들은 대개 식각개스로 사용되어서 식각개스로 사용되어서 식각 플라즈마에서는 이 같은 electro-negative 한 plasma의 형성이 빈번하게 일어나게 돕니다. 또한 에칭 등에사용되는 산소 플라즈마에서도 음이온의 발생은 압력 조건에 따라 매우 민감하게 형성되며 이러한 결과는 저희 실혐실 연구에서도 잘 나타나고 있습니다. 설명이 도움이 되길 바람니다.

플라즈마를 공부하다 이해가 되지 않는 부분이 있어서 이렇게 게시판에 올립니다.
책에 있는 내용을 그대로 적겠습니다.

the concertration of negative ions usually is substantially less than the concentration of positive ions because of the charge neutrality requirement for the glow discharge(i.e. density of electrons negative ion = density of positive ions)    
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102100
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24547
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61195
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73260
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105474
133 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19772
132 ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] 18320
131 SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate] 148648
130 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17494
129 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. [디바이 차폐와 이온화된 가스] 12505
128 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12905
127 k star [기초과학지원 연구원] 16025
126 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. [플라즈마 도서 추천] 28364
125 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13303
124 저온 플라즈마에 관한 질문 18279
123 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8631
122 기중방전에서 궁금한것이 19275
121 sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름] 28389
120 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요 [플라즈마의 온도와 밀도] 19771
119 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여…^ _ ^ ; [플라즈마 우주선 추진 엔진] 15750
118 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. [플라즈마 기초] 18092
117 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19460
116 플라즈마 실험 21417
115 esc란? 28284
114 PDP 에 대해서.. 18401

Boards


XE Login