Others 형광등에서 일어나는 물리적인 현상

2004.06.19 17:02

관리자 조회 수:18537 추천:265

저도 형광등에서 일어나는 물리적인 형상에 관해서 경험이 없기 때문에 전반적인 설명은 방명록 번호 97, 98번에 나와있는 것을 참고하시기 바랍니다.
참고로 뚱단지님의 형광등에 대한 설명에서 제가 몇가지를 수정/보완 할까 합니다.

1. "Ion의 Implantation에 의해 검게 코팅이 되는 효과가 나타난다"고 하셨는데 제 생각에는 Film Coating이라고 생각됩니다. Implantation은 높은 에너지의 이온을 필요로 하지요.

2. "이 대 주파수를 주는 것은 이온이 충분히 반응할 수 있을 만큼 줌으로써 Self Bias현상은 나타나지 않게 한다."이라 했는데 이온의 운동을 무시할 정도의 주파수는 플라즈마 조건에 따라 틀리지만 최소 수백 kHz 이상이 되어야만 한다고 새악ㄱ합니다. 인버터에서 그 정도의 주파수를 만드는지는 모르겠습니다. 그리고 Self Bias현상은 잘 애해가 되지 않는군요. 방명록의 이전 Q&A를 찾아보면 성명이 나오니가 참고하십시요.

3. "이온이 형광램프의 벽을 치기 전에 극성이 바뀌어 이온과 벽과의 충돌횟수가 줄어들어 검게 변하는 현상이 줄어든다." 앞서 설명한 것처럼 수백 kHz 이상이 되지 않으면 이온과 벽과의 충돌횟수가 줄어드는 효과를 볼 수 없습니다.

4. RF 플라즈마의 전위는 입력전력에 따라 변할 수 있습니다. 그리고 플라즈마의 on/off 현상은 대체로 주파수가 100kHz 이하에서는 플라즈마가 on/off 된다고 합니다. 그러나 100kHz는 절대값이 아니고 Chamber의 크기 Discharge의 종류에 따라 달라질 수 있습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77093
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20398
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57308
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68850
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92862
221 RF Antena와 Matcher 間 상관관계 문의드립니다. [1] 1022
220 전자 온도에 대한 질문이 있습니다. [1] 1020
219 고진공 만드는방법. [1] 1018
218 anode sheath 질문드립니다. [1] 1013
217 아래 382 번 질문에 대한 추가 질문 드립니다. [1] 1007
216 Sticking coefficient 관련 질문입니다. [1] 1002
215 CCP에서 접지된 전극에 기판을 놓았을 때 반응 [1] 1001
214 Tungsten 표면 Contamination 제거(실명재등록) [1] 984
213 RF tune position 과 Vrms의 관계가 궁금합니다 [1] 980
212 Shield 및 housing은 ground 와 floating 중 어떤게 더 좋은지요 [2] 979
211 3-body recombination 관련 문의드립니다. [2] 978
210 플라즈마를 이용한 오존 발생기 개발 문의 件 [1] 972
209 O2 Plasma 에칭 실험이요 [1] 969
208 상압플라즈마 제품 원리 질문드립니다 [2] 962
207 플라즈마 기초에 관하여 질문드립니다. [1] 944
206 안녕하세요 플라즈마의 원초적인 개념에서 궁금한 점이 생겨서 질문드립니다. [1] 939
205 플라즈마 구에서 나타나는 현상이 궁금합니다. [1] 934
204 Plasma Generator 관련해서요. [1] 913
203 플라즈마 세정 장비 (CCP구조)에서 자재 로딩 수에 따른 플라즈마 효과 및 Discolor [1] file 907
202 RF 전압인가 시 LF와 HF 에서의 Sheath 비교 [1] 906

Boards


XE Login