질문에 혼돈이 있는 이유는 플라즈마를 이용한 오존 발생기가 있기 때문입니다. 다시 이야기 하면 오존을 만들기에 적합한 플라즈마 발생 방치들이 있다는 말입니다. 이와 다른 방법으로 오존을 만드는 예에대해서는 저는 잘 아지 못하고 다만 플라즈마를 이용한 오존 발생장치를 예로 하겠습니다. 최근에는 DBD 방법으로 산소 플라즈마를 만들다 보면 많은 오존에 형성되게 됩니다. 또한 Corona 방전, 대부분 고전압 펄스 방전에서 형성되는 플라즈마를 의미하는데 이를 대기압 상태에서 형성시키다 보면 공기 중 산소에 의해서 오존이 다량 셩성되기도 합니다. 앞에서 말한 Corona 방전기, 대기압 방전, DBD등은 이전 설명을 참고하시고 이들 방전기를 플라즈마 발생기의 한 종류라 생각할 수 있으며 일반적인 플라즈마 발생기에 비해서 높은 운전 압력, 즉 대기압 등의 조건에서 플라즈마를 발생하는 장치, 큰 의미의 플라즈마 발생기라 할 수 있습니다.

참고로 플라즈마라는 표현은 플라즈마 상태를 의미하는 것으로 물질의 상태 중 하나입니다. 따라서 대부분의 개스는 플라즈마 상태를 만드는 대상이 될 수 있으며 산소를 포함하지 않은 개스를 플라즈마 상태로 만들 경우 물론 오존의 발생 가능성은 거의 없습니다.
 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102101
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24547
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61196
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73267
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105482
153 이온주입량에 대한 문의 20889
152 Peak RF Voltage의 의미 22835
151 electrode gap 18131
150 RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] 97596
149 실생활에서 사용되는 플라즈마 18428
148 플라즈마의 어원 [Langmuir] 16452
147 확산펌프 [DP 변수 검토] 20654
146 플라즈마에 관하여 [플라즈마 기초] 19047
145 핵융합 발전에서 폐기물이 않나오는…. [처리와 재활용] 18659
144 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] 18635
143 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 22000
142 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 80358
141 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] 17188
140 CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅] 16636
139 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 30087
138 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22212
137 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20594
136 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24653
135 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22128
134 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19798

Boards


XE Login