Deposition 박막 형성
2004.06.21 15:10
박막 형성
ICP장치에 관해서는 참고서적을 이용하시고 sputter(본란에서 설명을 하였습니다. 참고하기 바랍니다.)를 이용하여 상온 target에
박막을 형성시키는 것은 가능합니다. 입히고자 하는 박막이나 시편의 성질에 따라서 시편의 온도를 조절해야 함은 당연할 것 입니다.
적절한 온도에서 박막이 잘 성장하게 되며 이에 대해서도 이미 설명드린 바가 있습니다. 한가지 더 고려해야 할 것은 금속 박막
성장을 위한 방법으로 MOCVD방법이 있으니 이를 공부해 보는 것도 좋은 방법입니다. MOCVD는 sputter로 가능하지 않은 금속 물질등
의 박막 성장에 사용하는 방법입니다.
ICP에 관한 자료는 일단 다음 교재를 참고하기 바랍니다.
1. M.A. Lieberman & A.J.Lichtenberg "Principles of plasma discharges and material processing (1994,Jhon Wiley & Sons.Inc)
2. J.R.Roth, "Industrial Plasma Engineering : Vol.1 Principles" (1995, Institute of Physics Publishing)
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [159] | 73003 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 17611 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 55513 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 65693 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 86022 |
85 | laser induced plasma의 측정에 관하여 | 14679 |
84 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15823 |
83 | 등온플라즈마와 비등온플라즈마 | 18703 |
82 | RF에 대하여,, | 16823 |
81 | 냉각수에 의한 Power Leak | 14376 |
80 | AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상... | 19194 |
79 | 불꽃이 쫒아오는 이유 | 17569 |
78 | 플라즈마와 자기장의 상호작용 | 17524 |
77 | 플라즈마 온도 | 26861 |
76 | 진로상담 | 18067 |
75 | Faraday shielding & Screening effect | 18217 |
74 | DBD플라즈마와 플라즈마 impedance | 20087 |
73 | DBD plasma | 17987 |
72 | corona | 15810 |
71 | capacitively/inductively coupled plasma | 17572 |
70 | 형광등으로 부터 플라즈마의 이해 | 16938 |
69 | 플라즈마 쉬스 | 23607 |
» | 박막 형성 | 15187 |
67 | 고온플라즈마와 저온플라즈마 | 17106 |
66 | 플라즈마를 이용한 폐기물 처리 | 19586 |