ATM Plasma DBD plasma [Excitation과 Power Current]

2004.06.21 15:13

관리자 조회 수:18206 추천:283

DBD plasma

플라즈마 반응시 빛이 보이게 됩니다. 우선 빛의 정체를 보면, 빛을 방출하게 되는 경우는 원자가 여기되었다가 기저 상태로
낮아 지면서 나오는 에너지 차이가 우리가 인지할 수 있는 파장대의 빛으로 나오게 되는 것입니다. 이 에너지는  이온화 반응에너지
보다 낮아 이온화 반응과 함께 진행됨으로 빛이 보이면 이온화가 진댕되고 있겠다고 생각할 수 있는 이유입니다. 지금 실험하고 있는
상황은 아마도 puls corona 실험을 하고 있는것 같습니다. 혹은 DBD실험일 것입니다. 두 경우 모두 가시적으로 빛이 관찰되지 않는
다면 puls형태의 플라즈마 혹은 DBD플라즈마가 제대로 형성되지 않았다고 할 수 있습니다. 또한 corona방전이나, DBD의 경우나 외부
ground전극의 일부가 유리와 같은 유전체로 만들어져 있다고 해서 플라즈마를 만들지 못할 이유는 없습니다. 오히려 반응기에 제대로
power가 전달되고 있는 가를 점검하여야 할 것입니다.
혹은 빛이 약해서 관찰이 되지 않을 수도 있습니다. 주변을 어둡게 하고 실험을 해보기 바랍니다. 이런 경우에는 power electrode
에서 흐르는 전류를 측정해 보는 방법이 가장 확실한 방법입니다. 물론 displacement current를 제거를 하고 자료를 관찰해야 할
것입니다. 좋은 결과가 있기를 바랍니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102221
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24573
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61232
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73317
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105542
153 이온주입량에 대한 문의 20894
152 Peak RF Voltage의 의미 22837
151 electrode gap 18136
150 RF 플라즈마와 Microwave 플라즈마의 차이 [해리와 세정 활성종] 97624
149 실생활에서 사용되는 플라즈마 18428
148 플라즈마의 어원 [Langmuir] 16456
147 확산펌프 [DP 변수 검토] 20655
146 플라즈마에 관하여 [플라즈마 기초] 19047
145 핵융합 발전에서 폐기물이 않나오는…. [처리와 재활용] 18662
144 플라즈마을 막는 옷의 소재는? [옷의 소재 표면 처리] 18635
143 스퍼터링시 시편 두께와 박막두께 [박막의 하전량 변화] [1] 22016
142 Plasma source type [CCP, ICP, TCP] 80383
141 플라즈마를 이용한 발광시스템에 관한 연구 [Plasma lamp] 17189
140 CCP의 electrod 재질 혼동 [PECVD와 화학물 코팅] 16642
139 PECVD에서 플라즈마 demage가 발생 조건 [쉬스와 플라즈마 밀도에 의한 damage] 30092
138 플라즈마 코팅 관하여 [PECVD와 화학물 코팅] 22212
137 wafer 전하 소거: 경험 있습니다. 20596
136 플라즈마가 불안정한대요.. [압력과 전력 조절] 24655
135 플라즈마 온도 질문+충돌 단면적 [전자의 에너지에 따른 충돌반응] 22128
134 DCMagnetron Sputter에서 (+)전원 인가시 [플라즈마 부유 전위] 19798

Boards


XE Login