질문 ::
안녕하십니까??
플라즈마를 공부하는 학생으로서 여러가지 면에서 많은 도움을 받고 있습니다. 다름이 아니라 RF에 대하여 몇가지 질문이 있어 이렇게 문의를 드리게 되었습니다.
1) RF plasma에서의 plasma sustain mechanism은 sheath oscillation이라 고 책에서 보았는데,, 보충 설명을 부탁드리겠습니다.
2) 그리고 cathode 표면에 유도되는 self bias를 왜 DC 전위라 하는지,,
알고 싶고요,, Vrf = Vdc + V COS wt의 의미도 설명부탁드립니다.
3) 마지막으로 RF POWER 300W를 사용하여 방전실험을 하고 있는데,,
gauge에선 power값만 읽을 수 있는데,, 방전 전압과 방전 전류를 측정할수 있는 방법은 없을런지요??
두서없이 많은 질문을 한거 같은데,, 답변을 부탁드리겠습니다..
감사합니다.
답변 ::
안테나에 인가되는 전류 전압을 직접 측정하고자 한다면 안테나의 ground 단에 pierson coil등으로 전류를
측정할 수 있으며 인가되는 전압은 high voltage probe를 이용하여 측정합니다. 측정 위치는 모두
M/B 다음단과 안테나 사이에서 측정하여야 실제 안테나 load 전압/전류를 알수 있습니다. 혹은 V-I probe라는
장치를 M/B 전단, 즉 power supply와 M/B 사이에 연결하여 인가되는 전압/전류 곡선을 얻으며 smith chart를
통하여 현재 matching 여건을 확인 할 수 있습니다. 하지만 이들 값으로 실제 형성되어 있는 플라즈마의 전류
등에 대한 정보를 유추하기는 매우 어렵습니다.
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] | 77113 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20410 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57321 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68861 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92881 |
241 | Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? | 15892 |
240 | corona | 15894 |
239 | Sputter | 15897 |
238 | ICP TORCH의 냉각방법 | 15921 |
237 | k star | 15957 |
236 | 역 수소폭탄에 대하여... | 16009 |
235 | 핵융합과 핵폐기물에 대한 질문 | 16023 |
234 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 16047 |
233 | 공정검사를 위한 CCD 카메라 사용 | 16081 |
232 | 궁금합니다 [1] | 16179 |
231 | 궁금해서요 | 16321 |
230 | 플라즈마의 어원 | 16347 |
229 | CCP 의 electrode 재질 혼동 | 16517 |
228 | 몇가지 질문있습니다 | 16582 |
227 | 좁은 간격 CCP 전원의 플라즈마 분포 논문에 대해 궁금한 점이 있습니다. [2] | 16673 |
226 | nodule의 형성원인 | 16767 |
225 | sputter | 16852 |
224 | Virtual Matchng | 16856 |
223 | ICP 식각에 대하여... | 16932 |
222 | 플라즈마 처리 | 16936 |