질문 ::

비등온플라즈마는 전자의 온도만이 다르다는 것을 알고 있는데, 더 자세하게 두가지를 어떻게 구분할 수 있을까요? 둘의 차이점과 그 종류와 특징에 대해서 알고 싶습니다.

답변 ::

일반적으로 산업용으로 사용되고 있는 플라즈마의 특징은 전자의 온도가 이온의 온도에 비해서 매우 높다는 것입니다.
하지만 plasma torch와 같은 대기압 플라즈마에서는 이온의 온도와 전자의 온도가 유사하게 되는 경향을 보이기도
합니다. 이 둘의 차이는 충돌성이 얼마나 큰가에 따르게 됩니다. 자연 충돌성이 약한 낮은 압력에서 형성된 플라즈마에서는
전자의 질량이 이온의 질량보다 매우 작아 쉽게 전기장으로 부터 에너지를 얻을 수 있어 전자의 온도는 이온과 중성 입자의
온도에 비하여 매우 높습니다. (여기서 이온의 온도는 대략 중성 입자의 온도와 유사하다고 생각할 수 있습니다. ) 하지만
운전 압력의 증가에 따라서 중성 개스와 전자/이온의 충돌은 매우 빈번해지면서 전자의 온도는 상대적으로 낮아지고 이온과
중성개스의 온도는 올라가게 됩니다. 이런 경우에는 전체 입자의 온도가 거의 유사한 크기를 갖게 될 수 있습니다.
여기서 입자의 온도를 직접 측정하기는 쉽지 않습니다. 특히 이온의 온도는 측정이 어려워 많은 노력이 필요합니다. 통상적으로
우리가 측정하기 쉬운 대상은 전자이며 전자의 온도를 이용하여 종종 플라즈마의 특성을 관찰하곤 합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 109343
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26982
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64104
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75872
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109778
95 Splash 발생 및 감소 방안은 없는지요? [Splash와 TG Maker] 18280
94 주변의 플라즈마에 대하여 [Neon sign과 태양] 18807
93 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18888
92 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18694
91 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 21035
90 ICP 식각에 대하여… [Electronegative plasma] 17168
89 plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature] 25915
88 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle] 28149
87 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19978
86 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15513
85 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14884
84 ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16073
» 등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature] 18883
82 RF에 대하여,, [Pierson coil과 V-I probe] 17238
81 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14590
80 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19651
79 불꽃이 쫒아오는 이유 17763
78 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] 17840
77 플라즈마 온도 [Density와 Temperature] 28207
76 진로상담 [플라즈마 응용분야] 18315

Boards


XE Login