질문 ::

플라즈마진단법에는 어떤것들이 있나요?
제가 아는건 정전탐침법밖에 없는데.....
정전탐침법뿐아니라 다른 방법들을 가르쳐 주시면 감사하겠습니다.

답변 ::

플라즈마 진단의 종류는 대단히 많이 있습니다.
크게 두가지로 나눈다면 직접 플라즈마와 닿아 얻어지는 자료를 통하여 특성을 분석하는 방법과
플라즈마와 닿지 않으며 얻어지는 자료를 통하여 플라즈마 특성을 분석하는 방법이 있습니다.
전자의 방법으로는 정전 탐침법으로 대표되며 후자의 경우는 광학적인 방법 혹은 마이크로 파등을
이용하는 방법 및 빔을 이용하여 플라즈마와 충돌하면서 나오는 빛을 분석하는 (광학적인 방법의
일환)등이 있습니다. 이에 관해서 설명하기에는 본란으로는 부족할 것 입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102099
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24547
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73257
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105469
» 플라즈마진단법엔 어떤것이? [접촉/비접촉식 진단법] 18830
92 최적의 펌프는? [Turbo Pump와 corrosion free] 18627
91 plasma cleanning에 관하여 [Sputtering과 Etch] 20966
90 ICP 식각에 대하여… [Electronegative plasma] 17090
89 plasma와 arc의 차이는? [Arc의 temperature] 25678
88 플라즈마 상태와 RF MATCHING관계 문의 사항 [Matching과 particle] 28003
87 상압플라즈마에서 온도와의 관계를 알고 싶습니다. [상압 플라즈마, Remote Plasma] 19901
86 우주 플라즈마 [Plasma의 온도와 밀도] 15466
85 laser induced plasma의 측정에 관하여 [Ablation plasma와 resolution] 14791
84 ICP TORCH의 냉각방법 [냉각수와 와류] 16009
83 등온플라즈마와 비등온플라즈마 [Pressure와 temperature] 18830
82 RF에 대하여,, [Pierson coil과 V-I probe] 17172
81 냉각수에 의한 Power Leak [Density와 Power] 14522
80 AC 플라즈마에서의 전압/전류 형상… [Plasma Current와 dielectricity] 19570
79 불꽃이 쫒아오는 이유 17701
78 플라즈마와 자기장의 상호작용 [Magnetic Confinement] 17772
77 플라즈마 온도 [Density와 Temperature] 28087
76 진로상담 [플라즈마 응용분야] 18252
75 Faraday shielding & Screening effect [Fluctuation과 grid bias] 18480
74 DBD 플라즈마와 플라즈마 impedance [DBD plasma, Matching] 20362

Boards


XE Login