ATM Plasma 기중방전에서 궁금한것이

2004.06.25 12:53

관리자 조회 수:19164 추천:253

질문 ::

제가 기중방전실험을 통해서 거리가 10-35mm 간격의 구-구 전극에서 습도의 영향을 보고 싶어서 실험을 하였습니다. 습도를 40%-90%까지 가변하면서 전로파괴전압을 측정하였는데 그 결과는 습도가 높을수로 파괴전압을 큰 것으로 나타났습니다. 이쪽에 입문한지 얼마되지 않아서 그 이유가 궁금합니다. 실험하기 전에는 습도가 높을수로 파괴전압이 낮을것이라고 예상했는데, 반복실험을 통해서 관찰해보니 그 결과는 반대인데, 이것을 이론적으로 풀어주시면 더욱더 고맙겠습니다. 아니면 간략하게라도 이유를 설명해주심 감사하겠습니다.
그럼, 안녕히계십시요.

답변 ::

저도 같은 생각인데 결과가 의외입니다. 좀더 구체적으로 자료에
대해서 논의를 해 보면 좋을 것 같습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77150
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20427
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57336
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68883
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92904
642 안녕하세요. Plasma etch rate에 관하여 질문이 있습니다. [1] 739
641 ICP 후 변색 질문 740
640 정전척의 chucking voltage 범위가 궁금합니다. [1] 744
639 O2 플라즈마 사용에 대한 질문을 드립니다. 746
638 플라즈마 진단 OES 관련 질문 [1] 746
637 반도체 METAL ETCH 시 CH4 GAS의 역할. [1] 746
636 주파수 증가시 플라즈마 밀도 증가 [1] 750
635 Ion과 Radical의 이동 거리 및 거리에 따른 농도와 증착 품질 관련 [1] 752
634 코로나 전류에 따른 발생되는 이온의 수와, 하전에 영향을 미치는 요소에 대해서 질문드립니다 [1] 763
633 RPS를 이용한 유기물 식각장비 문의 [1] 764
632 안녕하세요 OLED 증착 시 궁금한점이있어 문의드립니다 [2] 768
631 교수님 질문이 있습니다. [1] 770
630 RF 주파수에 따른 차이점 [1] 771
629 Hollow Cathode glow Discharge 실험 관련해서 여쭤보고싶습니다. [1] file 778
628 새집 증후군 없애는 플러스미 - 플라즈마에 대해서 [1] 793
627 플라즈마 용어 질문드립니다 [1] 793
626 OES를 이용한 Gas Species 정량적 분석 방법 [1] 794
625 Collisional mean free path 문의... [1] 799
624 플라즈마 충격파 질문 [1] 807
623 Si Wafer에 Plasma를 처리했을때 정전기 발생 [1] 814

Boards


XE Login