Others 플라즈마에 관하여...

2004.06.25 17:01

관리자 조회 수:18965 추천:342

질문 ::

물리중에 플라즈마라는 것이 있고 그 것을 연구하는것이

플라즈마 물리학이란거는 알겠는데요.

플라즈마는 어떤 다른 것과 연결되있고 어떻게 연구를 하는지

알고 싶습니다.

답변 ::

좋은 질문입니다. 이에 관해서는 여러번 말씀을 드렸습니다. 일단
플라즈마 기초에 관련된 본 란의 내용을 검색해 보면 도움일 될 것 입니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77151
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20432
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
802 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] 24
801 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 29
800 Druyvesteyn Distribution 34
799 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 47
798 플라즈마 식각 커스핑 식각량 49
797 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 49
796 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 50
795 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 60
794 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 62
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 69
792 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 78
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 78
790 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 88
789 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 96
788 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 99
787 플라즈마 설비에 대한 질문 100
786 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 107
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 109
784 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 120
783 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 121

Boards


XE Login