ATM Plasma Lissajous figure에 대하여..

2004.07.02 00:31

이석근 조회 수:20747 추천:281

질문 ::

안녕하셨습니까? 저번 제주도 학회때 인사드렸던, 연세대 정보표시재료 연구실의 이응석입니다. 다름이아니라,, 논문을 읽다보니 Lissajous figure를 이용하여 대기압 플라즈마의 특성을 분석하곤 하는데,, 여러 져널을 뒤져봐도 Lissajous figure에 대하여 정확히 기술된 논문을 구하지 못하여 이렇게 부탁드립니다. 제가 알고싶은것은 원리, 실험적인 측정방법, plot하는 법등을 알고 싶은데,, 혹시 이러한 의문점에 대하여 참고할 만한 서적이나 논문이 있으면 좀 부탁드리겠습니다.


답변 ::

저희 실험실을 찾아주셔서 감사합니다.
먼저 Lissajous figure는 보통 대기압 플라즈마에서 Q-V Lissajous 곡선을 통하여 그 특성을 알수 있는데 Q-V Lissajous 란 인가된 전압에 따라 하전되는 전하량의 변화를 나타내는 곡선입니다.  Lissajous  곡선을 이용하여 대기압플라즈마의 특성을 알 수 있는데 먼저 Lissajous  곡선을 평행사변형이라 가정하고 소모에너지, 소모 전력를 구할수 있습니다. 또한 대기압플라즈마 중에서도 DBD(Dielectric barrier Discharge)는 arc방전을 억제하고 스트리머를 발생하기 위해 유전체를 전극사이에 삽입하게 되고, 따라서 반응기에는 공기의 정전용량과 유전체의 정전용량이 존재하게 됩니다. 이때 Q-V Lissajous 곡선을 사용하면 인가전압의 변화에 따라 공간내에 절연 파괴가 일어나기 전 전하량의 변화를 통하여 반응기 전체 정전용량을 구할수 있습니다. 그리고 절연파괴가 일어난 후  전하량의 변화를 통하여  절연체의 정전용량을 얻을 수 있습니다.  
Q-V Lissajous 곡선은 전류를 적분하여 전하량 Q를 통하여 얻을수 있습니다.

더 자새한 사항은
- Manheimer, Sugiyama, Stix " Plasma Science and The Enviroment ", AIP PRESS, 1997
- T. C. Manley " The Characteristics of The Ozonator Discharge", Trans. Elctrochem.Soc. 1943
- 박봉경, 김윤환, 장봉철, 조정현, 김곤호 "반응기 정전용량 변화에 따른 대기압 DBD반응기의 동작특성 연구", Journal of the Korean Vacuum Society, 440-448, 10(4), 2001
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102102
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24547
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61197
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73269
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105485
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2575
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1593
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3218
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9979
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2399
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2152
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2921
286 자료 요청드립니다. [1] 6525
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17220
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3235
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 7066
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1731
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3783
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6155
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8926
278 the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [Ideal MHD plasma의 magnetic flux conservation] [1] file 4107
277 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8049
276 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8821
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8364
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9631

Boards


XE Login