================================<질문>=======================================
안녕하세요.. 플라즈마에 대해서 궁금한 점이 있어서 이렇게 글을 올립

니다..

dc glow 방전에서 방전상태가 계속 유지되기 위해서는 전자가 계속적

으로 에너지를 얻어서, ion을 생성해야 하는 것으로 생각이 됩니다..

음극과 양극판이 있다면 그 중간영역(plasma volume)에서는 전기장

이 거의 존재하지 않는 것으로 알고 있습니다..그렇다면 원자를 이온하

시키기위한 전자의 에너지는 어디에서 흡수를 할 수 있나요? 이온과 전

자의 재결합 과정에서 발생하는 빛을 이용하나요?

그리고 rf 방전상태에서는 전자가 어디서 에너지를 얻게 되는 지 궁금합

니다..

답변을 부탁드리겠습니다.. 그럼 수고하십시요..


================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다. 본 란에 게재된 플라즈마 방전 혹은 발생 (장치)에 대한 내용을 참고하기
바랍니다.
플라즈마가 형성되어 유지되기 위해서는 전자의 역할이 매우 중요합니다.
전자는 이온에 비해서 쉽게 에너지를 얻어 이온화 과정으로 부터
전자-이온의 쌍을 만들게 됩니다. 재결합 과정 등으로 플라즈마가
손실되는 양과 균형을 이루면서 플라즈마는 형성되어 유지되게 됩니다.
질문은 이때 전자가 어디서 에너지를 얻는가 라는 질문입니다.
전자는 전기장이 있는 곳에서 에너지를 얻습니다. 당연히 bulk plasma 영역에서는
에너지를 쉽게 얻기 힘듧니다. DC 방전의 경우에는 cathode fall 영역
즉 음극판 앞에서 형성되는 쉬스영역에서 전자가 가속되게 됩니다.
특히 입사되는 이온에 의해서 발생된 이차전자등이 이 영역에서
효율적으로 가속을 받습니다. 중요한 것은 전기장의 방향이 음극판을 향함으로 전자는 bilk plasma 영역으로
나가게 되며 진행되는 전자가 이온화 반응등을 경험하게 됩니다.
이렇게 만들어진 플라즈마는 bulk 영역으로 확산되어 퍼지고 이렇게
확산되어 퍼진 영역을 positive column이라는 양광주영역으로 우리가
플라즈마라고 하는 곳입니다.
또한 RF 에서도 전극 주변의 쉬스에서 전자들이 에너지를 받기도 합니다. 이에 덧붙혀서 주기적으로 변하는 전기장의 방향에 따라서 전자들이
주기적으로 움직이게 됩니다. 쉬스로 향하는 전자들은 쉬스 전위가 낮음으로 되돌아 가게 되는데 이때 쉬스전위가 더 낮아지게 되면 되돌아
가는 전자에 에너지를 더 넣어 줄 수 있습니다. 마치 테니스 공을
되받아 치는 효과 혹은 박찬호의 빠른 공이 맞으면 홈런이 잘되는
이유와 같이 전자가 에너지를 얻게 됩니다. 이는 CCP 플라즈마에서
전자가 에너지를 얻는 방법이기도 합니다.
아울러 ICP등의 플라즈마에서는 공간내에 형성되는 전기장, 이는 안테나
등으로 부터 만들어지거나 외부에서 wave의 형태로 입사된 전기장을
받아 가속되는 경우인데 이는 플라즈마 내에서도 가속되는 경우에
해당합니다.  
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102099
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24547
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61192
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73257
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105470
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2575
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1593
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3218
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9979
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2398
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2152
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2921
286 자료 요청드립니다. [1] 6525
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17220
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3235
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 7066
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1731
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3783
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6155
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8926
278 the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [Ideal MHD plasma의 magnetic flux conservation] [1] file 4107
277 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8045
276 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8821
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8364
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9631

Boards


XE Login