Collision Three body collision process

2004.07.02 11:22

권호철 조회 수:20780 추천:253

================================<질문>=======================================

glow discharge에 대해서 공부하다보니까
recombination부분에서
2-body collision은 불가능하다고 수식을 사용해서 증명이 되었는데 현실적으로 왜 불가능 한지 알고 싶고요
3-body collision의 자세한 설명이 듣고 싶어요.
아직 논문을 찾아보지는 못했지만 몇몇 개의 논문 제목들 중에 있긴 하던데 어떤 특정 원소에 대한 거라든지 어떤 특정 환경을 잡아놓고 쓴듯(아직 읽어보지 않아서 잘은 모르겠습니다)어렵기만 합니다.저는 갓 학부를 졸업한 학생입니다.
자세한 설명 부탁드립니다.

만일 설명이 곤란하다면 관련 서적이라든지 어떠한 레퍼런스에 대한 정보를 알려주신다면 상당히 감사하겠습니다.

================================<답변>=======================================
좋은 질문입니다.
참고서적으로는 아마 지금 읽고 있는
Brian Chapman의 Glow Discharge Process (John Wiley& Sons, 1980)이 좋으며
혹은 M A Lieberman & A J Lichenberg의 Princeples of Plasma Discharge and Materials Processing (John Wiley& Sons 1994)
가 있습니다. 플라즈마를 공부한다고 하면 이 정도의 책은 꼭 보아야
합니다.

이책속에 질문한 사항에 대해서 자세히 나와 있습니다.
결합반응은 일반적인 충돌 현상과 차이가 있다면 두개의 입자가 서로
에너지를 갖고 충돌을 해서 하나의 결합체가 되는 반응이어서
충돌할때 입자가 갖고 오는 에너지가 반응 후에 보존되기 힘듦니다.
일반적으로는 갖고온 에너지를 상대 입자에게 전달해 주거나 받으면
보존되는데 문제가 없겠지만 결합이 된 상태이니 남거나 모자라는
에너지를 보충할 방법이 없습니다. 이같은 경우가 일어나기 위해서는
다른 제3 의 입자가 존재해서 남는 에너지에 대해서 보정을 해
주어야 합니다. 이는 반응기 벽이 되기 쉽고 혹은 압력이 높은 경우는
다른 입자가 대신하기도 하며 또한 photon으로 나오기도 합니다.
어쨋든 이 같은 조건이 형성되어야만 위의 반응이 일어나게 됩니다.
(책의 수식은 이런 내용을 의미하는 것입니다) 따라서 플라즈마 공간 내에서 이온과 전자가 쉽게 재결합을 하지는 않게
됩니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [330] 102103
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24548
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61199
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73272
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 105485
293 부도체를 타겟으로 한 플라즈마 형성 원리 [Self bias의 이해] [1] 2575
292 수방전 플라즈마 살균 관련.. 문의 드립니다. [플라즈마 기술 센터 문의] [1] 1593
291 HF+LF 사용 중. HF Power 증가 시 Depostion Rate 감소 현상 문의 [전자의 에너지와 중성입자와의 충돌] [1] 3218
290 수중 방전 관련 질문입니다. [수중 방전 플라즈마의 특징] [1] 9980
289 양극 코로나 방전에 대한 질문입니다. [이차 전자의 방출 특성] [1] 2399
288 13.56MHz resonator 해석 관련 문의 [Resonator의 matching] [1] 2152
287 플라즈마 밀도 관련 문의 드립니다. [대기압 플라즈마와 라디컬 생성] [1] 2921
286 자료 요청드립니다. [1] 6525
285 ESC Chuck Pit 현상관련 문의 드립니다. file 17220
284 아르곤이나 기타 플라즈마 토치에 소량의 수증기를 집어넣으면 온도가 떨어지는 현상에 대해서 3235
283 저온플라즈마에 관해서 [플라즈마 방전의 특성] [1] 7066
282 플라즈마 rotational temperature에 관해서 질문드릴게 있습니다. [플라즈마 토치에서의 Rotational temperature] [1] 1731
281 방전에서의 재질 질문입니다. [방전과 전압] [1] 3783
280 RF calibration에 대해 질문드립니다. 6155
279 N2 환겨에서의 코로나 방전을 통한 이온생성에 대한 질문입니다. [방전 장치의 플라즈마 성능 평가] [1] file 8927
278 the lines of magnetic induction are frozen into the perfectly conducting material에 대한 질문 [Ideal MHD plasma의 magnetic flux conservation] [1] file 4107
277 정전척 isolation문의 입니다. [Paschen's law와 절연파괴현상] [1] 8049
276 Microwave 장비 관련 질문 [RF Plasma의 주파수에 따른 파장의 길이] [1] 8821
275 플라즈마 균일도에 대해서 질문드립니다. [플라즈마 밀도와 중성 가스의 균일도] [1] 8365
274 진공챔버내에서 플라즈마 발생 문의 [플라즈마의 형성 원리] [1] 9632

Boards


XE Login