Others RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동

2009.08.05 12:52

조정안 조회 수:24787 추천:241

수고가 많으십니다.
저희 회사는 반도체, LCD장비 제작 회사들로 Motion Controller와 Servo ,Step Motor등을 공급하는 회사입니다.
업체 상담중에 문의사항이 있어서 조언을 구하고자 질문을 올려 드립니다.
Sputter 장비의 vacuum정도는 10 -3 torr, 공정온도는 약 100 도 정도입니다. Chamber내부에서 Motion을 구현 하고자 합니다. Chamber내부에 Vacuum용 모터를 사용하고자는데  RF 플라즈마에 의한 노이즈로 Motor 사용에 대한 부분을 우려하고 있습니다. 일반적으로 Chamber 외부로 Motion부분을 빼내어 메탈 벨로우즈를 이용한 방법으로 Motion을 사용한다고 하는데, Vacuum용 Motor를 RF 플라즈마 챔버내에서 사용하는 것이 가능한지 가능하다면 어떤 방법이 있는지 답변 부탁드립니다.
그럼 수고하십시요.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [283] 77218
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20468
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57362
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68901
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92947
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [2] 23791
205 질문이 몇가지 있읍니다. [1] 19200
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서... [1] 21341
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점... [1] 24705
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [3] 26246
201 몇가지 질문있습니다 16583
200 플라즈마내의 전자 속도 [1] 21935
199 Plasma Gas의 차이점 [1] 18031
198 matching box에 관한 질문 [1] 29707
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18294
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19366
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19585
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [1] 22563
193 플라즈마 측정기 [1] 21344
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] 22272
191 Arcing [1] 28680
» RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] 24787
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] 18801
188 궁금해서요 16324
187 PM을 한번 하시죠 19738

Boards


XE Login