Langmuir Probe 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works]

2009.08.06 11:38

허용강 조회 수:21460 추천:156

안녕하세요.
플라즈마 자료 검색을 하다가 찾게되었고, 자세한 답변을 기대하며, 질문을 드리게 됩니다.
플라즈마에 대해서 공부를 하고 있는데요. 주어지는 전압, 전류에 따라서 플라즈마가 변하는 것을
어떤 분석장비로 분석을 할수 있는지 알아보려합니다.

분석 장비 이름이라도 알면은 검색이라도 해서 찾아볼텐데, 어떠한 장비가 있는지도 잘 모르겠습니다.
장비 이름과 간단한 분석 원리 및 분석 가능 파라미터등을 알고 싶은데,
정말 간단히 분석 장비 이름이라도 꼭 답변을 달아주셨으면 합니다.
현재 아는것은 랭뮤어 뿐이 모릅니다.. 꼭 부탁드립니다. 감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [321] 86442
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 22669
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 59375
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 71133
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 98366
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23362
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21308
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 24023
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 19330
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21474
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 24938
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26615
201 몇가지 질문있습니다 16633
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22122
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18286
198 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 29917
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18399
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19424
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19789
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22694
» 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21460
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22433
191 Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시] [1] 28867
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리] [1] 24910
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19134

Boards


XE Login