Etch Dry Etcher 에 대한 교재

2009.08.07 17:14

김기권 조회 수:22559 추천:272

저는 LCD Dry Etcher 내 하부에 장착되는  ESC(Plasma ceramic Coating Type) 만드는 회사에 다니고 있습니다.
전공이 재료공학 인지라 Etcher 에 대한 설비, 공정진행 여러가지 모자란 부분이 많습니다. 이 부분을 독학 공부를 하고 싶은데 도움되는 교재를 추전해 주셨으면 좋겠습니다.  

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77151
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20432
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57337
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68884
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92905
122 Plasma 표면개질에 대해 질문드립니다. [1] 594
121 Interlock 화면.mag overtemp의 의미 593
120 간단한 질문 몇개드립니다. [1] 592
119 PECVD Uniformity [1] 580
118 조선업에서 철재절단용으로 사용하는 가스 프라즈마에 대한 질문 [1] 576
117 활성이온 측정 방법 [1] 575
116 핵융합 질문 [1] 575
115 Frequnecy에 따라 플라즈마 영역이 달라질까요? [1] 573
114 Chamber 내 Pressure와 Fluid Density, Residence Time 거동 [1] file 565
113 Chamber impedance 범위에 대해 질문드립니다. 560
112 전쉬스에 대한 간단한 질문 [1] 554
111 Bais 인가 Cable 위치 관련 문의 [1] 553
110 전자기장 및 유체 시뮬레이션 관련 [1] 550
109 self bias [1] 549
108 플라즈마 전원 공급장치에 대한 질문 [1] 539
107 안녕하세요. 자문을 구할 수 있을지 궁금합니다. [1] file 529
106 Sheath와 Plasma Bulk에 걸리는 전압 관련 문의 [1] 522
105 수중방전에 대해 질문있습니다. [1] 522
104 Plasma에 의한 분해 및 치환 반응(질문) [1] 520
103 해수에서 플라즈마 방전 극대화 방안 [1] file 518
쓰기
태그

Boards

XE Login