Others 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요!
2009.09.17 11:57
목포대학교에서 플라즈마 응용 박막에 대해 연구하는 학생입니다.. 궁금한게 있어서요~ 현재 저희 장비의 2차 펌프는 T.M.P입니다. 음~ 저희는 장비 실험이 끝나고 TMP를 냉각의 이유로 3시간동안~ OFF Time을 주고 전원을 내립니다.. 항상 의문이였거든요~ 꼭 3시간동안 장비를 켜놔야하나? 칠러나 장비가 장동하는데~ 소음이 심하다라는게 거슬리고 또 TMP를 냉각하는 3시간동안 저의 시간이 자유롭지 못 한것도 하나의 이유이구요! 그래서 한번은 TMP를 분리해 보았습니다.. 근데 통신케이블 과 전원 케이블 ,냉각수 라인 밖에 없더군요... 진공을 해제할때 TMP 스위치를 내리는데~ 그러면 TMP전원은 들어오지 않죠~ 당연히 데이터 이동도 필요없고 그져 냉각수만 돌려주면 될껏같은데 결론으로 제 생각은요~ 냉각수 1시간만 돌려도 ,TMP는 차가워지는걸 알수잇는데~~ 오일확산펌프처럼 손으로 만져서 차가워지면 꺼도 되나요?? 아니면 냉각이 아닌 어떤 다른 이유가 있나요?? 궁금해 죽겟습니다... 도와주세요
댓글 0
번호 | 제목 | 조회 수 |
---|---|---|
공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [278] | 76889 |
공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 20286 |
공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 57204 |
공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68758 |
공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 92716 |
199 | Plasma Gas의 차이점 [1] | 18005 |
198 | matching box에 관한 질문 [1] | 29687 |
197 | TMP에 대해 다시 질문 드립니다. | 18015 |
» | 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19362 |
195 | [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! | 19564 |
194 | Dry Etcher 에 대한 교재 [1] | 22552 |
193 | 플라즈마 측정기 [1] | 21335 |
192 | Dry Etcher 내 reflect 현상 [2] | 22259 |
191 | Arcing [1] | 28668 |
190 | RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [1] | 24780 |
189 | 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [1] | 18762 |
188 | 궁금해서요 | 16318 |
187 | PM을 한번 하시죠 | 19732 |
186 | CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [1] | 20397 |
185 | Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [1] | 22781 |
184 | scattering cross-section, rf grounding에 관한 질문입니다. [2] | 19222 |
183 | Full Face Erosion 관련 질문 [2] | 19461 |
182 | 공정챔버에서의 아킹 및 노이즈 문제... [2] | 26489 |
181 | 상압 플라즈마 관련 문의입니다. [1] | 21515 |
180 | RF에 대하여... | 32051 |