플라즈마 장비 내의 bias를 100W 정도 주었을 때, 전자의 속도를 알 수 있을까요?

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [316] 82074
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 21866
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 58649
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 70269
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 95982
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21422
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 24867
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 26457
201 몇가지 질문있습니다 16622
» 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22050
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18204
198 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 29836
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18365
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19405
195 [re] 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19706
194 Dry Etcher 에 대한 교재 [플라즈마 식각 기술] [1] 22648
193 플라즈마 측정기 [How Langmuir Probe Works] [1] 21420
192 Dry Etcher 내 reflect 현상 [Chuck 전압/전류 및 field breakdown] [2] 22371
191 Arcing [전하 축적에 의한 방전 개시] [1] 28793
190 RF 플라즈마 챔버 내부에서 모션 구동 [장비의 접지, 절연 관리] [1] 24870
189 전자온도에 대하여 궁금한 사항이 있습니다. [전자 가열 매커니즘과 이온 에너지] [1] 19005
188 궁금해서요 16362
187 PM을 한번 하시죠 19769
186 CCP형, 진공챔버 내에서의 플라즈마... [플라즈마 확산 및 전력정합 영역 제어] [1] file 20491
185 Dry Etch장비에서 Vdc와 Etch rate관계 [플라즈마 및 반응기 임피던스] [1] 22982

Boards


XE Login