Sputtering 몇가지 질문있습니다

2009.11.10 20:51

정세훈 조회 수:16686 추천:139

안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
답변부탁드립니다

이 게시물을
수정 삭제 목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [337] 109295
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 26953
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 64080
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 75835
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 109729
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 25457
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 25080
213 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 27689
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 41784
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 23673
210 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 20548
209 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 18879
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 23449
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 21611
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 24295
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 19452
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 21678
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 25269
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 27132
» 몇가지 질문있습니다 16686
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 22324
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 18543
198 matching box에 관한 질문 [ICP Source 설계] [1] 30148
197 TMP에 대해 다시 질문 드립니다. 18481
196 터보분자펌프에 대해서 질문 좀 하고 싶어요! 19484
쓰기
태그

Boards

XE Login