Chamber Impedance 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련

2010.05.05 13:56

강철호 조회 수:30128 추천:167

안녕하십니까?
저는 RF관련한 챔버,매칭박스,제네레이터 관련한 업무를 시작하게된 강철호라고 합니다,
공정 진행중 여러가지 원인에 의한 챔버의 임피던스 변화를 RF 제네레이터와 매칭 시키기 위해 매칭 박스를
이용한는 것으로 알고 있습니다..
여기서 질문입니다.
챔버의 임피던스가 변한다는것이  임피던스가 증가하는것인지,감소하는 것인지, 또는 2가지 경우가  랜덤하게
진행 되는 것인지 궁굼합니다..
만약 임피던스가 증가한다면 매칭박스가 어떤 원리로 매칭박스+챔버의 임피던스를 50Ω 으로 매칭할수 있는지
모르겠습니다.
너무 기초적인 지식이 없어 열심히 공부하려고 하니  성의 있는 답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [338] 232513
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 67996
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 105103
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 117293
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 199668
218 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 23667
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 23178
216 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 23520
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [RF matching과 breakdown] [1] 27896
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 25949
» 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 30128
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 42788
211 광플라즈마(Photoplasma)라는 것이 있는가요? 24460
210 석영이 사용되는 이유 [플라즈마 내식성과 불순물 제어] [1] 22716
209 surface wave plasma에 대해서 [Microwave와 electron temperature] [1] 20998
208 CCP 방식에 Vdc 모니터링 궁금점. 24325
207 전자파 누설에 관해서 질문드립니다. [Coaxial cable과 wave shield] [1] file 23828
206 N2 플라즈마 공정 시간에 따른 Etching rate의 변화 이유가 알고 싶어요 [Cooling과 Etch rate] [2] 26320
205 질문이 몇가지 있읍니다. [Lorentz force와 Magnetic cusp] [1] 21162
204 저온 플라즈마에서 이온, 전자, 중성자 온도의 비평형이 생기는 이유에 대해서 [Equilibrium과 collision] [1] 23495
203 H2/O2 플라즈마에 대해서 질문드립니다. 꼭 답변점… [폭발과 pressure] [1] 27786
202 dechucking시 Discharge 불량으로 Glass 깨짐 [ESC와 capacity] [3] 29110
201 몇가지 질문있습니다 17453
200 플라즈마내의 전자 속도 [Self bias] [1] 24422
199 Plasma Gas의 차이점 [플라즈마 화학 반응 및 에너지 전달] [1] 20257

Boards


XE Login