Chamber Impedance 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련

2010.05.05 13:56

강철호 조회 수:26766 추천:167

안녕하십니까?
저는 RF관련한 챔버,매칭박스,제네레이터 관련한 업무를 시작하게된 강철호라고 합니다,
공정 진행중 여러가지 원인에 의한 챔버의 임피던스 변화를 RF 제네레이터와 매칭 시키기 위해 매칭 박스를
이용한는 것으로 알고 있습니다..
여기서 질문입니다.
챔버의 임피던스가 변한다는것이  임피던스가 증가하는것인지,감소하는 것인지, 또는 2가지 경우가  랜덤하게
진행 되는 것인지 궁굼합니다..
만약 임피던스가 증가한다면 매칭박스가 어떤 원리로 매칭박스+챔버의 임피던스를 50Ω 으로 매칭할수 있는지
모르겠습니다.
너무 기초적인 지식이 없어 열심히 공부하려고 하니  성의 있는 답변 부탁드립니다

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [128] 5591
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 16863
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 51345
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 64198
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 84174
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22727
230 대기압 플라즈마 34747
229 반도체 관련 질문입니다. 28490
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 46605
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20050
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 15851
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19113
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 29153
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17048
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 34627
221 질문 있습니다. [1] 18313
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22360
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25423
218 플라즈마 진단법에 대하여 [1] 20104
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20109
216 UBM 스퍼터링 장비로... [1] 20704
215 Reflrectance power가 너무 큽니다. [1] 24408
214 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 24036
» 플라즈마 챔버 의 임피던스 관련 [2] 26766
212 반도체 CVD 공정의 ACL공정에서 RF Reflect Power에 관하여 여쭤보고 싶습니다. file 40412

Boards


XE Login