Others H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다.

2010.11.29 12:11

김준영 조회 수:19024 추천:56

안녕하세요
제가 ICP 장비에서 플라즈마를 이용한 표면 처리 실험을 하고 있습니다.
챔버내에 O2와 H2 가스를 혼합하여 플라즈마를 띄웠습니다.
공정 압력은 10-3 torr 정도 이고 가스유량은 산소 10 : 수소 50 ~ 산소 50 : 수소 50 sccm 입니다.
궁금한거는 산소와 수소가 만나면 폭발을 할 위험이 있는데요 안전한건지 궁금합니다.
안전하다면 왜 안전 한건지 이유도 같이 알려 주시면 감사 하겠습니다.
그리고 H2/O2 비율과 압력대 관련 가용영역 이러한 자료는 어디에서 구할수가 있을가요??
인터넷으로 검색을 한다면 무슨 제목으로 검색을 해야 할가요? 현재 한참 검색을 해보았는데 아직 관련 자료응 얻지 못하였습니다.

그리고 만일 안전 하다면... 혹시 고진공 수소와 산소 혼합가스로 플라즈마를 생성하는 과정에서 챔버내에 불꽃이나 스파크가 일어 난다면 그때는 폭발의 위험성이 큰거 겠죠??

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