Matcher 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다.

2011.01.03 12:29

한영일 조회 수:42520 추천:72

이제 막 Plasma라는 것에 발을 딛은 초보직장인인데요.

Mather장비는 A사 제품을 쓰고 있는데 항상 Matching test를 할때마다

tune과 load값이라는 것을 조정하여 맞추더군요.

솔직히 이 두개값에 대한 정의에 대해서도 잘모르겠고, 어떻게 조정을 하여

맞추는지 매우 궁금합니다. 결과적으로는 Plasma가 잘 발생하게 하기 위한 방법이겠지만

이해하기 쉽게 설명하여 주시면 매우 감사하겠습니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [54] 1166
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 886
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 49369
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 59406
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [1] 73934
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] 20042
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 30431
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] 22356
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 22942
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 22583
230 대기압 플라즈마 30291
229 반도체 관련 질문입니다. 28417
» 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] 42520
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 19958
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] 15771
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 17349
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 28731
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 16938
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] 29347
221 질문 있습니다. [1] 18273
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] 22206
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25254
218 플라즈마 진단법에 대하여 [1] 19783
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [1] 20015

Boards


XE Login