ATM Plasma 대기압 플라즈마
2011.03.20 23:03
안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.
댓글 0
| 번호 | 제목 | 조회 수 |
|---|---|---|
| 공지 | [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [235] | 75785 |
| 공지 | Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 | 19468 |
| 공지 | 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. | 56676 |
| 공지 | kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 | 68064 |
| 공지 | 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] | 90356 |
| 235 | 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [1] | 20256 |
| 234 | RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. | 31442 |
| 233 | [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [3] | 23967 |
| 232 | HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 | 23247 |
| 231 | 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. | 22877 |
| » | 대기압 플라즈마 | 40460 |
| 229 | 반도체 관련 질문입니다. | 28558 |
| 228 | 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [1] | 47509 |
| 227 | Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. | 20157 |
| 226 | 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [1] | 15961 |
| 225 | H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] | 19346 |
| 224 |
[re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다.
 | 29766 |
| 223 | [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. | 17158 |
| 222 | ECR plasma 장비관련 질문입니다. [2] | 34826 |
| 221 | 질문 있습니다. [1] | 18356 |
| 220 | pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련.. [1] | 22549 |
| 219 | 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? | 25537 |