ATM Plasma 대기압 플라즈마

2011.03.20 23:03

김기수 조회 수:40943

안녕하세요
대기압 플라즈마 장비를 관리를 하는데
세라믹에 아크가 발생하여
세라믹이 구멍이 나면서 크랙이 갑니다.
원인을 자세히 설명 부탁드립니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [335] 103788
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24751
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 61625
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 73574
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 106077
235 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [Electric field와 breakdown] [1] 20511
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31944
233 [질문] ICP plasma 를 이용하여 증착에 사용하고 있는데요. [Sheath model과 bias] [3] 24935
232 HVDC Current '0'으로 떨어지고, RF Bias Reflect (RF matching이 깨지는 현상) 발생 23479
231 안녕하세요. O2 Plasma 관련 질문좀 드리겠습니다. 23086
» 대기압 플라즈마 40943
229 반도체 관련 질문입니다. 28669
228 안녕하세요. RF Matching에 관한 질문입니다. [Matching과 L-type] [1] 49005
227 Sputter 시에 Gas Reaction 에 대해 문의 드립니다. 20573
226 플라즈마로 처리가 어떻게 가능한지 궁금합니다. [수중방전의 heating source] [1] 16376
225 H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. [2] 19739
224 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문에 대한 답변 드립니다. file 30604
223 [re] H2/O2 혼합 플라즈마에 관련 질문 입니다. 17296
222 ECR plasma 장비관련 질문입니다. [ECR과 enhanced process] [2] 35328
221 질문 있습니다. [Plasma breakdwon과 plasma particle] [1] 18531
220 pulse plasma 측정을 위한 Langmuir probe 사용 방법 관련 [Pulse plasma와 trigger-in] [1] 22916
219 스퍼터 DC 파워의 High 임피던스가 무슨 의미인가요? 25726
218 플라즈마 진단법에 대하여 [플라즈마 진단과 Spectroscopy] [1] 21015
217 안녕하세요. GS플라텍 지성훈입니다. [Enthalpy probe] [1] 20503
216 UBM 스퍼터링 장비로… [UBM과 열팽창 및 coating] [1] 21193
쓰기
태그

Boards

XE Login