안녕하세요

조금전 상압 플라즈마 방전과 관련한 내용을 전화로 문의드렸던 사람입니다.

서면으로 정리하여 문의드리는 쪽이 편하다고 하시어 이렇게 글을 남기게 되었습니다.


우선 저희가 연구중인 제품은 저온 상압 플라즈마 방전을 이용한 이온발생기로서 기본적인 목적은

항균/탈취/바이러스 제거 등 실내공기 정화입니다.


저희가 사용하는 방식은 아래와 같습니다.



1. 출력 전압 : ± 2.5kV ~ 4.5kV (DC, AC pulse 두가지 타입)

2. 사용 전극 : 침상 전극 (+), (-) 각 1개
- 두개의 전극간 이격 거리 : 30mm (최적의 전극간 이격거리를 현재 찾고 있음)
- 침상 전극의 형태는 얇은 철판을 5mm X 10mm 크기로 끝을 뾰족하게 만든 전극형태를 사용

3. 구동조건 : 상압,상온

4. 외관 : 침상 전극에 다치지 않도록 커버가 있으나, 공기의 유입이 가능하도록 직경 5pi 수준의 구멍이
  각각의 전극 상단에 위치함


이에 문의드리고자 하는 내용은,

1) 최적의 저온 상압 플라즈마 방전의 조건
- (+)이온, (-)이온의 발생이 가장 많이되는 최적의 출력전압조건(DC, AC or pulse / Voltage level)
- 침상전극의 형태
- 침상전극간 이격 거리

2) 저온 상압 플라즈마 방전에 대한 논문등의 자료
- 추천하시는 논문/서적/사이트/연구실/전문기관/전문가 등


적다보니 너무 광범위한 내용이 되어버려서 죄송합니다.

아는 것은 적은데 알고 싶은것이 너무 많은 탓이라 이해해주시면 감사하겠습니다.

바쁘시겠지만 검토부탁드리며, 회신 기다리고 있겠습니다.

감사합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 100053
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24151
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60785
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72744
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 104231
250 안녕하세요, 질문드립니다. [플라즈마 토치와 환경처리] [2] 6758
249 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [RRC 연구센터 문의] [1] 7944
248 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [플라즈마트 및 휘팅커 회사] [1] 10652
247 플라즈마 발생 억제 문의 [Induction field와 breakdown] [1] 8276
246 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [ICP의 skin depth와 공정 균일도] [1] 24838
245 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15978
244 Ar traction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [Chamber wall과 radical reaction] [1] 16079
243 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [Remote plasma의 Radical] [1] 23203
242 cross section 질문 [Cross section에서의 collision] [1] 20030
241 [Sputter Forward,Reflect Power] [Sputter와 matching] [1] 31591
240 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [Power와 Gas ionization] [1] 18257
239 ICP 플라즈마 매칭 문의 [Matching과 breakdown] [2] 21466
238 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [ICP Matching과 Circuit model] [1] 25163
237 [질문] Plasma density 측정 방법 [Plasma property와 sputtering] [1] 22933
236 [질문] 석영 parts로인한 특성 이상 [Plasma 대면재료와 공정법] [1] 20003
» 상압 플라즈마 방전에 관한 문의 [Electric field와 breakdown] [1] 20485
234 RF Plasma(PECVD) 관련 질문드립니다. 31893

Boards


XE Login