안녕하세요. 전남대학교 정세훈이라고 합니다.
몇가지 궁금한점이 있어 질문드립니다

a)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 500 eV.

b)       the typical energy of sputtered Cu atoms if the Ar ion has an energy of 5000 eV

Cu원자의 에너지값이 어떻게되나요? 여러논문을 검색해보았는데
thompson distribution E/(E+Eb) 에 대해서는 나오는데.. 계산이 잘 안돼서요..
--------------------
위의 질문에 대한 참고 자료를 군산대학교 주정훈교수님께서 올려 주셨습니다. 그림과 같이 Kr 입자 조사에 의한 스퍼터링된 Cu의 에너지 및 이탈 속도 함수를 보여주고 있습니다. Ar과 조사 입자의 질량 차이가 있을 뿐 이를 고려한다면 거의 현상은 유사할 것으로 판단됩니다. 이 자료는 교재에 있다고 하니 참고하시기 바랍니다. 

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [329] 101167
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 24312
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 60958
» kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 72946
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 104889
133 DC SPT 문의 [절연체의 전위] 19770
132 ICP에 대하여 [DC glow 방전과 ICP 플라즈마 발생] 18313
131 SCCM 단위에 대하여 궁금합니다. [Flow rate] 148548
130 Electrode의 역할에 대해서 궁금합니다. [이차전자의 방출과 스퍼터링] 17484
129 플라즈마에 대해서 꼭알고 싶은거 있는데요.. [디바이 차폐와 이온화된 가스] 12501
128 반응기의 면적에 대한 질문 [전극의 면적에 따른 전압 강하] 12900
127 k star [기초과학지원 연구원] 16016
126 플라즈마 물리학책을 읽고 싶습니다. [플라즈마 도서 추천] 23927
125 플라즈마 분배에 관하여 정보를 얻고 싶습니다. [플라즈마 영향 인자] 13299
124 저온 플라즈마에 관한 질문 18271
123 핵융합에 대하여 [상온 핵융합 관련 연구 동향] 8630
122 기중방전에서 궁금한것이 19268
121 sheath와 debye sheilding에 관하여 [전자와 이온의 흐름] 28359
120 플라즈마를 손으로 만질 수는 없나요 [플라즈마의 온도와 밀도] 19741
119 플라즈마와 비행기에 미쳤거든여…^ _ ^ ; [플라즈마 우주선 추진 엔진] 15731
118 플라즈마를 알기위해서는 어떤것을 알아두는 것이 좋.. [플라즈마 기초] 18090
117 CCP/ICP에서 자석의 역할에 대하여 [ICP와 자기장의 역할] 19456
116 플라즈마 실험 21413
115 esc란? 28271
114 PDP 에 대해서.. 18397

Boards


XE Login