번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77052
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20374
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57284
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68832
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92831
761 ICP에서의 Self bias 효과 [1] 220
760 구 대칭으로 편광된 전자기파를 조사할 때에 대한 질문입니다. [1] file 226
759 Cu migration 방지를 위한 스터디 [1] 236
758 Non-maxwellian 전자 분포의 원인 [1] 240
757 Compressive한 Wafer에 대한 질문 [1] 242
756 GWP(Global warming potential)에 따른 Etch gas 변화에 대한 질문 [1] 259
755 대기압 플라즈마 문의드립니다 [1] 260
754 Etch Plasma 관련 문의 건.. [1] 270
753 gas에 따른 deposition rate 및 저항질문 있습니다 [1] 274
752 RF 스퍼터 관련 질문이 있습니다. [1] 278
751 메틸기의 플라즈마 에칭 반응 메커니즘 [1] 295
750 플라즈마 밀도와 라디칼 [1] 305
749 RIE 설비 관련 질문 좀 드려도 될까요? [1] 306
748 E-field plasma simulation correlating with film growth profile [1] 325
747 Plasma 장비 소재 특성 관련하여 문의드립니다. [1] 325
746 공정 진행 중 의도적인 섭동 효과에 대해서 질문 드립니다. [1] 326
745 RF sputter 증착 문제 질문드립니다. [1] file 329
744 RIE Gas 질문 하나 드려도될까요? [1] 333
743 Edge ring의 역할 및 원리 질문 [1] 337
742 플라즈마 에너지가 온도를 높혀주는 역할 [1] 339

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