Others 고온 플라즈마 관련

2012.06.04 11:49

몽돌 조회 수:8096

안녕하세요?

배가스의 SOx와 NOx 처리에 저온 플라즈마를 사용하는데 관련된 논문이 있었는데,

그 중에서 Radical 생성이 잘 되지 않아서 문제가 있는 것을 봤습니다.

혹시 고온 플라즈마를 사용하여 Radical 생성을 더 잘 생성시킬 수 있을까요?

만약 고온 플라즈마가 Radical을 더 잘 생성시킬 수 있다면 왜 지금까지 연구하신 분들이 모두 저온 플라즈마를 사용하는 방안을

연구하셨을까요? 거기에 다른 이유가 있나요?

빠른 답변이면 감사하겠습니다.
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [303] 78037
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20847
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57737
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 69253
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 93631
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 10072
» 고온 플라즈마 관련 8096
257 안녕하세요 교수님. [1] 9125
256 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8603
255 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 13451
254 MFP에 대해서.. [1] 7870
253 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6589
252 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7736
251 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10378
250 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 8150
249 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 24490
248 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15915
247 Ar fraction에 따른 Plasma 특성 질문입니다. [1] 15848
246 remote plasma에 대해 설명좀 부탁드립니다. [1] 22508
245 cross section 질문 [1] 19764
244 [Sputter Forward,Reflect Power] [1] 31226
243 RF Power에 따라 전자온도가 증가하는 경우에 대하여 궁금합니다. [1] 17851
242 ICP 플라즈마 매칭 문의 [2] 21252
241 ICP Source에서 RF Source Power에 따른 위상차와 임피던스 변화 문의 [1] 24818
240 [질문] Plasma density 측정 방법 [1] 22742

Boards


XE Login