Others 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다.. 도와주십시오 ㅠㅠ [플라즈마의 진공과 가스 주입]
2012.06.27 12:22
제가 얼마전에 회사에 입사하였는데 일하는 부서도 플라즈마파트가 아님에도 뜬금없이 숙제를 하나 받았습니다.
다른건 하나도 가르쳐 주지 않고 질소를 1로 했을때 암모니아와 아르곤의 C.F.를 알아오라네요...
아무리 찾아도 무슨말인지도 모르겠습니다ㅠㅠ
어뜨케 어뜨케 간신히 찾아다니다 보니 mass flow에 관련된 거 같긴한데 이마저도 모르겠습니다.
저도 아는게 하나도 없어서 이렇게 밖에 질문 못하는점 양해 부탁드립니다.
혹시 아시는분 계시면 댓글이나 메일로 답장 부탁 드리겠습니다.
부단히 공부해서 다음에 질문할때는 초보티를 벗어나도록 하겠습니다.
감사합니다.
메일주소는 : say2541@naver.com 입니다.^^
안녕하세요.
플라즈마를 발생시키기 위해서는 챔버 안을 진공상태로 만들어 준 뒤, 사용하고자 하는 가스를 주입해 주어야 합니다.
이때 일정량의 가스를 주입하기 위해 MFC ( Mass Flow Controller )를 사용합니다. MFC는 기체의 열적 특성을 이용하여 기체가 흐르는 양을 측정하게 되는데, 간단한 원리는 첨부한 그림과 같습니다. 열을 발생시키는 heater가 있고, 양쪽의 열을 측정하는 센서가 있어서, 열에너지의 차이를 통해 gas의 mass flow를 측정할 수가 있습니다. 수식적으로 살펴보면, 열량 Q=(dm/dt)Cp(T1-T2)로 표현되어 지고, 여기에서 Cp는 열용량을, T는 온도를 의미합니다. 기체의 종류가 일정하다면 열용량과 밀도가 일정하고, 온도 변화를 측정하게 되면 (dm/dt), 즉 기체의 mass flow를 측정할 수 있습니다.
하지만 기체의 종류가 달라지면, 기체의 열용량과 밀도값이 달라지게 됩니다. 따라서 기체의 종류가 달라지면, 그에 따른 보정을 해주어야 하는데, 이것이 질문자님께서 말씀하신 C.F. (Correction Factor) 입니다. 보통 공기중에 질소의 양이 가장 많기 때문에, 질소를 1로 설정하고, 질소가 아닌 다른 기체를 사용할 시 Correction Factor를 사용하여 보정 해 주어야 합니다. (구글과 같은 검색 사이트에서 gas correction factor를 검색하시면, gas flow meter나 gas gauge를 만드는 회사 측에서 제시하는 correction factor를 쉽게 찾아볼 수 있습니다. MKS 에서 제공하는 암모니아의 correction factor는 0.73 입니다.)
보통, thermal-base의 gas flow meter는 가스 종류에 따라 meter기가 나누어져 있어서 별다른 보정 없이 해당하는 기체 전용의 flow meter를 사용합니다.
이와 비슷하게, 진공을 측정할 때 사용하는 이온 게이지도 기체의 종류에 따라 그 값이 달라집니다. 이온 게이지는 챔버 내의 기체 분자를 이온화 시켜 발생하는 전자의 양을 측정함으로써 진공도를 측정하는 압력계로, 기체의 종류에 따라 이온화 에너지가 다르기 때문에 반드시 보정을 해 주어야 하며, 이 경우에도 공기 (또는 질소)가 기준이 되어 공기의 C.F.는 1이 됩니다. 기체 종류에 따른 이온 게이지의 C.F. 또한 인터넷을 통하여 쉽게 찾아보실 수 있습니다.