ATM Plasma 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다.

2012.08.01 13:40

케빈 조회 수:7957

안녕하세요

상압 플라즈마와 관련하여 몇가지 문의 드릴려고 합니다.

1. 헬륨 가스를 이용하여 상압 플라즈마를 발생 시켰을때, 헬륨 이온이 생성 될때 발생하는

    전자로 인하여 공기중의 다른 원소들이 이온화 된다고 알고 있습니다. 그럼 이온화된

    헬륨은 인체 또는 공기에 어떤 영향을 끼치는지 문의 드립니다.

 

2. 텅스텐을 세라믹으로 감싼 전극과 아노다이징 된 알루미늄 사이(0.5mm)에 물 미립자를 통과 시켜서

    -OH 라디칼 이온을 만들려고 했는데, 오존이 종종 발생 됩니다. 전극에서 전달된 에너지가

    -OH 라디칼 이온과 오존 중 어떤 걸 먼저 만들어 내는지 알 수 있을까 해서요..

 

우선은 두가지 문의 드립니다.

제 이메일 주소는 vngkgk11@gmail.com 입니다.

 

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [160] 73079
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 17643
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 55521
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 65737
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 86107
267 공동형 플라즈마에서 구리 전극의 식각 문제 [2] 6250
266 RF & DC sputtering에 대해 질문드립니다. [1] 8581
265 Sheath와 Darkspace에 대한 질문입니다. [1] 8611
264 플라즈마 데미지에 관하여.. [1] 6280
263 VPP, VDC 어떤 FACTOR 인지 알고 싶습니다. [1] 53351
262 수중플라즈마에 대해 [1] 8448
261 [기초]CCP Type에서의 Self-Bias(-Vdc) + Vp (plasma potential) 관련 질문입니다. [1] 12277
» 상압 플라즈마에 관하여 문의 드립니다. [1] 7957
259 플라즈마에 하나도 모르는 완전초보입니다..도와주십시오ㅠㅠ [1] 9482
258 고온 플라즈마 관련 8046
257 안녕하세요 교수님. [1] 8743
256 Lecture를 들을 수 없나요? [1] 8510
255 플라즈마가 생기는 메커니즘에 대한 질문입니다. [1] 12771
254 MFP에 대해서.. [1] 7696
253 안녕하세요, 질문드립니다. [2] 6510
252 플라즈마 쪽에 관심이 많은 고등학생입니다. [1] 7600
251 미국의 RF 관련 회사 문의드립니다. [1] 10022
250 플라즈마 발생 억제 문의 [1] 7964
249 ICP dry etch 장비에서 skin depth가 클수록 좋다고 볼 수 있는 건가요? [1] 23507
248 Sputtering 중 VDC가 갑자기 변화하는 이유는 무엇인가요? 15779
쓰기
태그

Boards

XE Login