30 kW급 공동형 (양 극 모두 구리) 플라즈마 토치를 운전하는데, 음극에서 구리 소모가 상당히 심하네요. 원래 음압에서 운전하도록 설계된 토치인데, 저희는 약간의 양압 상태에서 운전하고 있습니다. 0.2 bar정도...

플라즈마 소스는 알곤가스를 사용합니다. 냉각은 13도로 들어가서 15도 정도로 나오니... 잘 되는 것 같은데.... 구리가 많이 나오네요.

이런 경우는 어떤 대처가 필요할 까요? 궁금합니다.

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77061
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20379
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57290
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68836
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92838
801 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 25
800 Druyvesteyn Distribution 27
799 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 36
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 42
797 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 43
796 플라즈마 식각 커스핑 식각량 45
795 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 45
794 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 53
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 68
792 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 77
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 77
790 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 86
789 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 87
788 플라즈마 설비에 대한 질문 90
787 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 97
786 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 98
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 105
784 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 106
783 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 111
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128

Boards


XE Login