안녕하세요. 저는 KIST에서 Plasma Actuator를 연구하고 있는 학생입니다.

절연유와 같이 전기가 통하지 않는 액체에서 Dielectric Barrier Discharge 방식을 통하여 Plasma를 발생시킬 수 있는 지에 대해

궁금증이 생겨서 이렇게 글을 남기게 되었습니다.

1. 혹시 생성이 가능하다면 일반 공기 중에서 발생되는 Plasma와 세기나 기타 여러 특성에서 어떠한 차이가 있는지

2. 그리고 절연유가 아닌 일반 전기가 통하는 액체(물과 같은)에서 발생되는 Plasma는 공기에서 발생되는 Plasma와 어떤 차이가 있는지

알려주실 수 있으신가요?

제 전공이 기계공학이라 Plasma를 이해하기에 너무나도 어려움이 많습니다 ㅠㅠ 도와주세요!!

번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [279] 77061
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20379
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57290
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68836
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92838
801 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 25
800 Druyvesteyn Distribution 27
799 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 36
798 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 42
797 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 43
796 플라즈마 식각 커스핑 식각량 45
795 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 45
794 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 53
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 68
792 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 77
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 77
790 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 86
789 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 87
788 플라즈마 설비에 대한 질문 90
787 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 97
786 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 98
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 105
784 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 106
783 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 111
782 RF generator의 AMP 종류 질문입니다. [1] 128

Boards


XE Login