DC glow discharge 방전에서의 재질 질문입니다.

2014.02.10 14:52

윤준식 조회 수:3563

안녕하세요 김곤호 교수님.

저는 코로나 방전 공부를 하고 있는 대학원생입니다.

다름이 아니라 재질에 대해 질문 드리고 싶은데요,

저는 재질을 스테인리스, 황동, 텅스텐 3종류를 바꿔가면서 방전 실험을 했습니다.

제가 비슷한 글을 찾아본 결과 음극판의 2차 전자방출계수가 높은것 일수록 플라즈마 공간 유지에 좋다고 봤습니다.

그렇다면 재질이 바뀌면 전류-전압 그래프가 서로 다르게 나와야 되는게 아닌가 싶습니다.

하지만 재질을 바꿨을 경우 전류-전압은 그대로인데 풍속만 차이가 있었습니다. 여기서 풍속은 이온풍입니다.

즉 2차 전자방출계수 말고도 다른 요소에 의해서 전류-전압 그래프는 서로 같지만 풍속이 다르게 나오는 것 같습니다.

혹시 제가 모르는 다른 요소가 있거나 제가 잘못생각한 점이 있다면 설명해주시면 감사하겠습니다.

그리고 혹시 괜찮으시다면 양극판에서는 어떤 물성치가 플라즈마 공간에 영향을 주는지 추가적으로 알고 싶습니다.

이 게시물을
목록
목록
번호 제목 조회 수
공지 [필독] QnA 글 작성을 위한 권한 안내 [280] 77143
공지 Q&A 검색 길잡이 – 내게 필요한 정보를 더 빠르게 찾는 방법 20426
공지 개인정보 노출 주의 부탁드립니다. 57335
공지 kr 입자 조사에 의한 Cu 스퍼터링 에너지 및 이탈 속도 분포 함수 68877
공지 질문하실 때 실명을 사용하여주세요. [3] 92901
802 ICP Plasma etch chamber 구조가 궁금합니다. [1] 19
801 C2H2 플라즈마코팅시 가스 원인과 대책 28
800 Druyvesteyn Distribution 32
799 DBD 방전 방식의 저온 플라즈마 관련해서 3가지 질문 드립니다. [1] 47
798 플라즈마 식각 커스핑 식각량 48
797 PECVD 실험을 하려고 하는데 조언 구합니다. 48
796 스터퍼링시 기판 온도 계산에 대해 질문드립니다! [1] 49
795 공정 DATA TARGET 간 난제가 있어 문의드립니다. [1] 60
794 HE LEAK 과 접촉저항사이 관계 [1] 61
793 내플라즈마 코팅의 절연손실에 따른 챔버 내부 분위기 영향 여부 질문드립니다. [1] 69
792 자성 물질 Etching 시 Process Parameter 질문 [1] 77
791 Ni DC 스퍼터 관련 질문있습니다. [1] 78
790 스미스차트의 저항계수에 대한 질문드립니다 88
789 Si 와 SiO의 선택적 식각 관련 문의입니다. 93
788 RF 반사와 전기에서 쓰이는 무효전력 반사 차이점이 궁금합니다. [1] 99
787 플라즈마 설비에 대한 질문 99
786 Showerhead와 Heater간 간격에 따른 RPC 효율성 [1] 105
785 RF magnetron Sputtering 공정에서의 질문 [1] 109
784 진공 챔버에서 Plasma Off시 Particle의 wafer 표면 충돌 속도 [1] 118
783 새삼스럽지만 챔버 내에 전류의 정의를 여쭤보고싶습니다. [1] 118
쓰기
태그

Boards

XE Login